[实用新型]一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片生产中专用碳化硅烘干的辅助装置，特别是一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置。

背景技术

光伏行业的迅猛发展使得作为硅片切割主要辅助原料的碳化硅的需求量大幅度增加。在工艺配比中碳化硅要与聚乙二醇混合，由于聚乙二醇具有较强的吸水性，故碳化硅必需烘干，以保证工艺要求；现有的烘箱由于热流动性差，不能烘烤较多的碳化硅，否则一个是不易烘透碳化硅，保证不了烘烤质量，另一个是烘烤时间较长，大大降低了烘烤的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种应用于单晶硅片生产领域的保证烘烤质量，提高烘烤效率的烤箱专用隔断装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，包括由上隔板、下隔板和立柱构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱为多个，立柱的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。

其中，所述的上隔板和下隔板由四方形的边框和并排设置在四方形的边框内的多个支撑板构成，支撑板的两端固定在四方形的边框上，多个支撑板之间留有间隙。

其中，所述的立柱为四个，分别固定于上隔板和下隔板的四方形边框的四个角。

其中，所述的支撑板为角铁。所述的立柱为三个、六个或八个。

本实用新型的有益效果是：由于把烘烤区一分为二，上隔板和下隔板上分别设置有通孔，可由热风顺畅通过，热循环使上下两层的碳化硅充分烘烤，这样既保证了烘烤质量，又减少了烘烤时间，从而提高了烘烤效率，操作更加简便灵活。

说明书附图

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明：

具体实施例

如图1所示，一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，包括由上隔板、下隔板和立柱1构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱1为多个，立柱1的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。所述的上隔板和下隔板由四方形的边框2和并排设置在四方形的边框内的多个支撑板3构成，支撑板3的两端固定在四方形的边框2上，多个支撑板之间留有间。所述的立柱为四个，分别固定于上隔板和下隔板的四方形边框的四个角。实施例中，所述的支撑板为角铁，所述的立柱可为三个、六个或八个。

当需要烘烤碳化硅时，在烘箱下层放置一定数量袋装碳化硅，在上隔板上放置一定数量袋装碳化硅，然后启动烘箱开启热风，由于烘烤区一分为二且碳化硅两层之间有充分的空间，使热风可以充分循环，两层碳化硅可得到充分的烘烤。这样既保证了烘烤质量，又减少了烘烤时间，从而提高了烘烤效率，操作更加简便灵活。