[实用新型]基于气动控制的真空室门开闭装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空室门的控制装置，特别是涉及一种基于气动控制的真空室门开闭装置。

背景技术

真空室门作为真空腔室连接外界的接口，要求开启方便、省力，关闭后能够密封真空室，并保持真空腔室真空度。

现有真空室门开闭结构大多由真空室门21、门铰链机构22、门锁紧机构23等三大部分构成。手动操作控制门的开启及关闭，以铰链为轴，回转半径大约等于门的直径，需较大空间。但这种手动控制的结构对要求全自动控制的情形，已经不再适用。

如图1、2给出的现有真空门的控制结构所示，关门时，真空室门以门铰链的转动轴为中心转动，待闭合后，通过门锁紧机构手动锁紧真空室门。这种控制结构的缺点在于：（1）手动操作，无法实现全自动控制。（2）门开启时的回转半径较大，对于空间要求较大。

实用新型内容

本实用新型提供一种基于气动控制的真空室门开闭装置，能实现自动控制真空室门的开启与关闭，解决手动控制真空门不但存在空间要求较大且不适用于需自动控制的场合的问题。

解决上述技术问题的技术方案如下：

本实用新型提供一种基于气动控制的真空室门开闭装置，包括：

支撑板、支撑部件、第一气缸单元、第二气缸单元和连板；其中，

所述支撑板活动设置在所述支撑部件上，能沿所述支撑部件水平滑移；

所述第一气缸单元的气缸杆与所述支撑板固定连接，能驱动所述支撑板沿所述支撑部件水平滑移；

所述第二气缸单元设置在所述支撑板上，第二气缸单元的气缸杆与连板活动连接；

所述连板的一端与所述支撑板活动连接，另一端为真空室门连接端。

本实用新型的有益效果为：通过支撑板、支撑部件、第一气缸单元、第二气缸单元和连板有机连接，形成对连接真空室门的连板既能水平滑移控制，又能翻转控制的开闭装置。其结构简单，以气动方式控制，控制空间小且方便实现自动化控制。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为现有技术提供的真空室门控制结构示意图；

图2为图1的A－A向视图；

图3为本实用新型实施例提供的真空室门开闭装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的真空室门开闭装置的俯视图；

图中各标号对应的部件为：21－真空室门；22－门锁紧机构；23－门铰链机构；

1－第二气缸单元；2－第二气缸单元的气缸杆；3－连板；4－调整块；5－真空室门；6－铰链机构；7－限位结构；8－导向杆；9－第一气缸单元；10－第一固定连接板；11－第二固定连接板；12－支撑座。

具体实施方式

下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型实施例提供一种基于气动控制的真空室门开闭装置，如图3所示，该开闭装置具体包括：支撑板、支撑部件、第一气缸单元9、第二气缸单元1和连板3；

其中，支撑板活动设置在支撑部件上，能沿支撑部件水平滑移；支撑部件具体由两个导向杆8和四个支撑座12构成（见图4），两个导向杆8平行设置，每个导向杆8两端各由一个支撑座12支撑，支撑板活动设置在两个导向杆8上，能在两个导向杆8上水平滑移；

第一气缸单元9的气缸杆与支撑板固定连接，能驱动支撑板沿支撑部件水平滑移；

第二气缸单元1设置在支撑板上，第二气缸单元1的气缸杆2与连板3活动连接；

连板3的一端与支撑板活动连接，另一端为真空室门连接端。