[实用新型]一种设有中心电极的真空镀膜室有效
| 申请号： | 201320178475.0 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN203200334U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李灿民 | 申请（专利权）人： | 合肥永信信息产业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设有 中心 电极 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种设有中心电极的真空镀膜室，镀膜室由金属网罩、金属棒、玻璃砖支架、工件、铝箔组成，其特征在于，金属网罩内设有一根与镀膜室内壁保持电导通的中心电极，所述中心电极与金属网罩绝缘设置。
2.根据权利要求1所述的一种设有中心电极的真空镀膜室，其特征在于，所述中心电极为一直杆，横向贯穿在金属网罩内。
3.根据权利要求1所述的一种设有中心电极的真空镀膜室，其特征在于，所述中心电极为一圆环结构。
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