[实用新型]直线电动机电枢和直线电动机

说明书

技术领域

本实用新型涉及直线电动机电枢和直线电动机。

背景技术

以往，半导体制造装置或机床等的工作台进给采用了直线电动机。在直线电动机的电枢中，提出有这样的电枢：利用包壳覆盖电枢线圈，在电枢线圈与包壳之间设置制冷剂流路而使制冷剂在该流路内通过，对电枢线圈进行冷却（例如，参见专利文献1）。此外，还提出有在冷却套内部设置有制冷剂流路的直线电动机电枢（例如，参见专利文献2）。

现有技术文献

专利文献1：国际公开第2005/112233号

专利文献2：国际公开第2008/152876号

实用新型内容

当在冷却套内部设置有多个制冷剂流路的情况下，在该制冷剂流路与制冷剂流路之间配置有将彼此隔开的间隔壁。这样，有时来自电枢线圈的热传导在制冷剂流路部分和间隔壁部分变得不均一。

本实用新型正是鉴于上述情况而完成的，其示例性的课题在于，提供能够对配置在冷却套附近的发热体进行冷却并减低冷却套表面的温度不均一的直线电动机电枢和直线电动机。

为了解决上述课题，作为本实用新型的示例性的侧面的直线电动机电枢是具有沿着动子的移动方向配置的发热体、和配置在发热体的表面附近的冷却套的直线电动机电枢。冷却套的内部具有多个制冷剂流路，所述多个制冷剂流路由内侧套、外侧套、以及将内侧套和外侧套连接起来的间隔壁划定而成，所述内侧套位于离发热体近的一侧，所述外侧套位于离发热体远的一侧。在内侧套和外侧套中的至少任一方的内部以与间隔壁对置的方式配置有传热减低部，所述传热减低部用于减低来自发热体的热传导。

也可以在内侧套的与制冷剂流路对置的内部位置和外侧套的与制冷剂流路对置的内部位置均不配置传热减低部。

传热减低部也可以是空隙。

传热减低部也可以配置在内侧套和外侧套中的至少任一方的厚度方向的大致中央。

作为本实用新型的另一示例性的侧面的直线电动机电枢是具有沿着动子的移动方向配置的发热体、和配置在发热体的表面附近的冷却套的直线电动机电枢。冷却套的内部具有多个制冷剂流路，所述多个制冷剂流路由内侧套、外侧套、以及将内侧套和外侧套连接起来的间隔壁划定而成，所述内侧套位于离发热体近的一侧，所述外侧套位于离发热体远的一侧。内侧套和外侧套中的至少任一方是从离发热体近的一侧起依次层叠内侧层、中央层和外侧层至少三层而构成的。内侧层和外侧层由纤维强化树脂、陶瓷或不锈钢形成，中央层通过将以制冷剂流路的延长方向为长度方向的长条状的纤维强化树脂、陶瓷或不锈钢的部件、和长条状的传热减低部沿着与长度方向正交的方向交替配置而形成。传热减低部与间隔壁对置地配置从而减低来自发热体的热传导。

作为本实用新型的又一示例性的侧面的直线电动机具备：上述的直线电动机电枢；和磁场系统，所述磁场系统隔着磁空隙而与直线电动机电枢对置地配置，并且该磁场系统交替地依次配置有彼此极性不同的多个永磁铁，并且，以直线电动机电枢和磁场系统中的任一方作为定子，以另一方作为动子，使直线电动机电枢和磁场系统相对地运动。

通过参照以下附图而说明的优选的实施方式来明确本实用新型的进一步的目的或其它特征。

实用新型效果

根据本实用新型，能够对配置在冷却套附近的发热体进行冷却并减少冷却套表面的温度不均一。

附图说明

图1是本实用新型的实施方式的直线电动机的立体图。

图2是关于图1所示的直线电动机电枢而从箭头Z方向观察图1中的Z-Z线的截面时的示意性的立体图。

图3是图2所示的冷却套的一部分的分解立体图。

图4是示出了图2所示的直线电动机电枢的IV-IV’线的截面的一部分的图。

图5是图2至图4所示的内侧套的一部分的分解立体图。

图6是示出了包括不具有传热减低部的冷却套的直线电动机电枢的截面的一部分的图。

图7是示出了包括具有传热减低部的冷却套的直线电动机电枢的截面的一部分的图。

图8是示出了制冷剂流路膨胀的状态的直线电动机电枢的截面的一部分的图。

标号说明

1：直线电动机；

2、2’：直线电动机电枢；

3：磁场系统；

21：电枢线圈；

22、22’：冷却套；

22a、22a’：内侧套；

22b、22b’：外侧套；

22c：间隔壁；

22d：制冷剂流路；