[实用新型]研磨装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种研磨装置。

背景技术

作为半导体密封材料等热固化性树脂的固化物的特性检查的1种，有对固化物中成分的分散状态的检查。作为该检查方法，例如，有如下方法：制作由该固化物制成的规定的直径（例如直径100mm）的圆盘状的试验片，研磨该试验片并观察固化物的表面。此时，为了使所希望的观察面露出，通过研磨所述圆盘状的试验片的表层而予以去除。

作为研磨试验片的装置，采用了通过手动使所述试验片旋转而进行研磨的手动台式研磨机。

实用新型解决的课题

因此，使用所述研磨装置时，需要用眼睛估量来调节研磨量。研磨后的试验片的厚度，例如和目标值相比会产生0.3-0.4mm左右的误差。

实用新型内容

本实用新型要解决的课题是，鉴于上述问题而提供一种可以抑制被研磨物的研磨量的误差的研磨装置。

本实用新型提供一种研磨装置，其具有：研磨部件，该研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面；保持部，该保持部具有朝着所述研磨面向下开口的收容部，该保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通过自重将所述被研磨物按压到所述研磨面；移动机构，该移动机构通过使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相对移动而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及多个重量块，该多个重量块可相互层叠地搭载在所述保持部的上表面。

实用新型效果：

根据本实用新型，可以提供一种能够抑制被研磨物的研磨量的误差的研磨装置。

附图说明

图1是表示本实施方式所涉及的研磨装置的侧面图。

图2是表示本实施方式涉及的研磨装置的保持装置的图，图2（a）是侧视图，图2（b）是仰视图。

图3是表示本实施方式所涉及的研磨装置的图，图3（a）是研磨前的截面图，图3（b）是研磨后的扩大截面图。

图4是表示本实施方式所涉及的研磨装置的移动机构的俯视图。

图5是表示本实施方式所涉及的研磨装置的保持机构的侧视图。

图6是表示本实施方式所涉及的研磨装置的保持机构的侧视图。

符号说明：

1…研磨装置

2…保持部

3…移动机构

4…被研磨物

5…重量块

6…收容部

7…凹部或者凸部

8…旋转辊

9…研磨部件

10…研磨面

11…端部

12…第1旋转轴

13…支撑部

14…第2旋转轴

15…保持装置

16…旋转机构

17…圆柱形状部

18…轴部

19…驱动用驱动器

20…凹部或者凸部

D…被研磨物的厚度

A…力

B…力

具体实施方式

下面，采用附图说明本实施方式。另外，在全部的附图中，同样的构件加了同样的符号，适当省略说明。

＜研磨装置＞

图1是表示本实施方式所涉及的研磨装置1的侧视图。

如图1所示，本实施方式所涉及的研磨装置1具有：研磨部件9，该研磨部件9研磨被研磨物4并具有平坦研磨面10；保持部2，该保持部2保持被研磨物4并且通过自重相对于研磨面10按压被研磨物4；移动机构3，该移动机构3通过使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上相对移动从而使研磨部件9进行研磨被研磨物4；以及多个重量块5，该多个重量块可以在保持部2的上表面相互层叠搭载。保持部2具有朝研磨面10且向下开口的收容部6，在该收容部6中保持被研磨物4。通过采用该研磨装置1来研磨被研磨物4，由此可以抑制被研磨物4的研磨量的误差。

通过该研磨装置1研磨被研磨物4时，保持部2的研磨面10侧的端部11与研磨面10接触的时刻即为研磨完成时。因此，由于不需要用眼睛估量来判断研磨量，故可以抑制被研磨物的研磨量的误差（参照图3（b））。

另外，如上所述，研磨装置1具有可以在保持部2的上表面相互层叠地搭载的多个重量块5。通过将该多个重量块5内的任意数量的重量块5搭载在保持部2上，由此，由于可以调节被研磨物4相对于研磨面10的按压力，故可以调节被研磨物4的研磨速度。

另外，保持部2的上表面所搭载的重量块5的数量如图1、图5以及图6所示，可以任意地进行变更。越是增加重量块5的数量越能够提高被研磨物4的研磨速度。

＜保持装置15＞

下面，将包含保持部2的装置作为保持装置15来进行说明，该保持部2具有朝研磨面10且向下开口的收容部6。