[发明专利]一种聚醚类化合物、其制备方法及光刻胶组合物

权利要求书

1.一种如通式（Ⅰ）所示的聚醚类化合物：

其中，R₁为聚醚多元醇的聚醚主链；R₂为氢或C₁～C₅烷基；n为3、4或5。

2.根据权利要求1所述的聚醚类化合物，其特征在于，所述R₁中的聚合单体数为大于等于20且小于等于100的整数。

3.权利要求1或2所述聚醚类化合物的制备方法，其特征在于，由通式（I-1）所示的聚醚多元醇和通式（I-2）所示的丙烯酰氯类化合物，在催化剂的存在下于有机溶剂中进行酯化反应制得；所述催化剂为三乙胺；所述有机溶剂为四氢呋喃；

4.一种光刻胶组合物，包括可聚合单体，其特征在于，所述可聚合单体包括权利要求1或2所述的聚醚类化合物；所述可聚合单体中所含所述聚醚类化合物的重量百分比为10%～25%。

5.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物按照重量份包括以下原料：

6.根据权利要求5所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括0.095～0.445份的助剂。

7.根据权利要求6所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述助剂为流平剂、消泡剂、表面活性剂、爽滑剂、硅烷偶联剂或光稳定剂中的一种或多种。

8.根据权利要求5-7任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述可聚合单体还包括双季戊四醇五丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯或芳香族聚氨酯丙烯酸酯中的一种或多种。

9.根据权利要求5-7任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂为碱溶性丙烯酸树脂。

10.根据权利要求5-7任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光起始剂为酰基磷氧类、酮肟脂类、二苯甲酮类、安息香类、蒽醌类、芳香酮类或铁芳烃类光起始剂中的一种或多种。

11.根据权利要求5-7任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亚胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、环戊酮或环己酮中的一种或多种。