[发明专利]检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测附着在检查对象物的检查面上的异物的检查装置。

背景技术

目前，众所周知的检查装置是检测附着在检查对象物的检查面上的异物（例如参考专利文献1）。在这种检查装置上，首先通过照明向基板等检查对象物照射光，然后，利用拍摄部拍摄被照明照射的检查对象物。然后基于所拍摄的图像检测检查对象物上的异物。

这样的技术领域中要求可以高精度地检测异物的技术。

现有技术文献

专利文献1：特开2010-169611号公报

发明内容

鉴于上述情况，本技术的目的在于提供可以高精度地检测附着在检查对象物的检查面上的异物的检查装置等技术。

本发明的检查装置具备以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光的照明。

通过以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射光，从而在检查面上可以把成为凸部的部分照亮，使平坦的部分暗。而且，通过使用含有蓝色或紫色波长范围的光，从而可以加大成为凸部的部分和平坦部分的对比度（亮度差）。通过这样，可以高精度地检测附着在检查面上的异物（凸部）。

上述检查装置还可以具备输送部和调整机构。

上述输送部具有沿着一个方向引导上述检查对象物的引导部，且沿着上述一个方向输送上述检查对象物。

上述调整机构在向上述检查面照射上述光时，调整上述引导部或上述检查对象物的高度，使上述引导部的上面高度在上述检查面以下。

如果照明的照射角度低，有可能在检查对象物的检查面上形成引导部的影子。因此，在该检查装置上，调整引导部或检查对象物的高度，使引导部的上面高度在检查面的高度以下。通过这样，可以防止在检查对象物的检查面上形成引导部的影子。

在上述检查装置上，上述引导部也可以具有第一引导构件和第二引导构件。

上述第一引导构件向上述一个方向引导上述检查对象物。

上述第二引导构件在与检查上述检查对象物的位置即检查位置对应的位置被安装在上述第一引导构件上。

这种情况下，上述调整机构也可以调整上述第二引导构件的高度，使上述第二引导构件的上面高度在上述检查面以下。

在上述检查装置上，上述照明也可以从与上述一个方向正交的方向照射上述光。

如果以从与上述一个方向（检查对象物的输送方向）正交的方向照射光的方式设置了第一照明，就特别容易产生引导部的影子。因此，这种情况下，调整引导部或检查对象物的高度，对于防止引导构件的影子特别有效。

上述检查装置还可以具备拍摄部和控制部。

上述拍摄部拍摄上述检查面被上述照明照射了上述光的上述检查对象物，获取上述检查对象物的图像。

上述控制部基于上述图像检测上述检查面上的异物。

在上述检查装置上，上述控制部也可以对上述检查对象物的图像进行二值化处理，基于上述二值化处理得到的图像检测上述检查面上的异物。

上述检查装置还可以具备显示部和其它照明。

上述显示部具有屏幕。

上述其它照明以10度以下的照射角度向上述检查对象物的上述检查面照射光。

这种情况下，上述拍摄部也可以拍摄上述检查面被上述其它照明照射了上述光的上述检查对象物，获取上述检查对象物的图像。

这种情况下，上述控制部也可以将通过上述二值化处理得到的图像叠加在利用上述其它照明照射光获取的图像上，在上述屏幕上显示。

这样，用户看到在屏幕上显示的图像，从而可以准确地检查异物。

在上述检查装置上，上述控制部也可以对上述检查对象物的图像使用非检查掩模，在非检查掩模以外的区域检测上述异物。

通过这样可以防止将异物以外的物体识别成异物。另外，防止检测无需检查的区域的异物。

在上述检查装置上，上述控制部也能够生成非检查掩模。

在上述检查装置上，上述控制部也可以获取根据颜色浓度把上述检查面划分成多个区域的区域信息并基于上述区域信息生成上述非检查掩模。

通过这样，可以将特定颜色浓度的区域作为非检查区域。

在上述检查装置上，上述检查对象物也可以在上述检查面具有形成物。

这种情况下，上述控制部也可以获取上述形成物的位置信息，基于上述位置信息生成上述非检查掩模。

通过这样可以防止将形成物识别成异物。

在上述检查装置上，上述检查对象物也可以在上述检查面上具有图案。