[发明专利]检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法

权利要求书

1.一种检查装置，具备：以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光的照明。

2.根据权利要求1所述的检查装置，还具备：

输送部，其具有沿着一个方向引导所述检查对象物的引导部，且沿着所述一个方向输送所述检查对象物；以及

调整机构，在向所述检查面照射所述光时，所述调整机构调整所述引导部或所述检查对象物的高度，使所述引导部的上表面高度在所述检查面以下。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述引导部具有第一引导构件和第二引导构件，所述第一引导构件沿所述一个方向引导所述检查对象物，所述第二引导构件在与检查所述检查对象物的位置、即检查位置对应的位置被安装在所述第一引导构件上，

所述调整机构调整所述第二引导构件的高度，使所述第二引导构件的上面高度在所述检查面以下。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述照明从与所述一个方向正交的方向照射所述光。

5.根据权利要求1所述的检查装置，其中，还具备：

拍摄部，所述拍摄部拍摄所述检查面被所述照明照射了所述光的所述检查对象物，获取所述检查对象物的图像；以及

控制部，其基于所述图像来检测所述检查面上的异物。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

所述控制部对所述检查对象物的图像进行二值化处理，基于所述二值化处理得到的图像来检测所述检查面上的异物。

7.根据权利要求6所述的检查装置，还具备：

显示部，所述显示部具有屏幕；以及

其它照明，所述其它照明以超过10度的照射角度向所述检查对象物的所述检查面照射光，

所述拍摄部拍摄所述检查面被所述其它照明照射了所述光的所述检查对象物，获取所述检查对象物的图像，

所述控制部将通过所述二值化处理得到的图像叠加在利用所述其它照明照射光获取的图像上并在所述屏幕上显示。

8.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

所述控制部对所述检查对象物的图像使用非检查掩模，在非检查掩模以外的区域检测所述异物。

9.根据权利要求8所述的检查装置，其中，所述控制部能够生成非检查掩模。

10.根据权利要求9所述的检查装置，其中，

所述控制部获取根据颜色浓度把所述检查面划分成多个区域的区域信息并基于所述区域信息生成所述非检查掩模。

11.根据权利要求9所述的检查装置，其中，

所述检查对象物在所述检查面上具有形成物，

所述控制部获取所述形成物的位置信息，基于所述位置信息生成所述非检查掩模。

12.根据权利要求9所述的检查装置，其中，

所述检查对象物在所述检查面上具有图案，

所述控制部获取所述图案的边缘线的信息，基于所述边缘线的信息生成所述非检查掩模。

13.根据权利要求12所述的检查装置，其中，

所述控制部使边缘线以规定的膨胀率膨胀，将膨胀后的所述边缘线作为所述非检查掩模生成。

14.一种照明，以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光。

15.一种检查方法，包括：

以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光，

拍摄所述检查面被所述照明照射了所述光的所述检查对象物，获取所述检查对象物的图像，

基于所述图像来检测所述检查面上的异物。

16.一种基板的制造方法，包括：

以10度以下的照射角度向基板的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光，

拍摄所述检查面被所述照明照射了所述光的所述基板，获取所述基板的图像，

基于所述图像来检测所述检查面上的异物，

基于所述检查面上的异物信息来判定所述基板的良否，

使被判定为良品的所述基板进入基板制造工序中的下一个工序。