[发明专利]高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法

权利要求书

1.一种高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括如下几个步骤：

步骤A: 在光栅结构图形硬模板上旋涂甲苯稀释的PDMS；

步骤B: 在甲苯稀释的PDMS上涂覆PDMS预聚物，将80μm至120μm的PDMS板压在PDMS预聚物表面，接着进行加热固化;

步骤C: 脱模，获得PDMS软压印模板；

步骤D:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜,接着在金属铝膜上施涂紫外固化胶，烘干，然后采用PDMS软压印模板对紫外固化胶进行紫外纳米软压印；

步骤E: 脱模，获得紫外固化胶图形;

步骤F: 以金属铝膜上图形化紫外固化胶为掩膜，采用反应离子刻蚀金属铝膜和去胶，在蓝宝石基片上获得金属铝膜光栅结构的图形化金属铝膜；

步骤G:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al₂O₃膜;

步骤H:将得到的图形化多晶Al₂O₃膜进行高温热处理，使图形化多晶Al₂O₃膜完全转化为图形化单晶Al₂O₃膜，即得到图形化蓝宝石衬底。

2..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述金属铝膜的厚度为150nm～200nm。

3..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤A中的甲苯稀释的PDMS质量浓度为60%wt。

4..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤B中PDMS预聚物为PDMS预聚物：固化剂=1:10配制。

5..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤D中的压印模板选用PDMS软压印模板。

6..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤D中的压印技术选用紫外纳米软压印技术。

7..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤D中紫外固化胶采用AMONIL-MMS4紫外固化胶。

8..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于,所述步骤D中紫外固化胶膜的厚度为150nm～250nm。

9..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤G中低温热处理的温度为400℃～600℃。

10..如权利要求1所述的高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述步骤H中高温热处理的温度为950℃～1250℃。