[发明专利]大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种碳纤维硬质保温材料技术领域，尤其涉及一种大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。

背景技术

统使用单晶炉内保温是采用10mm厚的软碳毡多层缠绕在热场隔热屏保温桶上，软毡使用寿命短，灰分大，在高温下挥发物多；其次在操作上不方便，容易引起炉内其他附件污染。

发明内容

本发明为了解决以上问题提供了一种工艺简单、流程短、生产周期短、保温材料使用寿命长、提高生产纯度的大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法。

本发明的技术方案是：具体实施步骤如下：

1）碳纤维成型预制体；将碳纤维磨碎成4-8mm的短碳纤维；

2）树脂浸渍；将上述短碳纤维树脂浸渍，所述的树脂为环氧和醛醛树脂；

3）炭化处理；将温度保持在950-1000度；

4）真空气相沉积；将上述预成品在真空环境下石墨化处理，温度保持在2190-2210度；

5）机床加工成型；

6）表面致密涂层；

7）热处理。

本发明工艺简单、流程短、生产周期短，单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料使用寿命长，在高温下不易挥发，不会造成炉体内的污染。

具体实施方式

大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的制备方法，具体实施步骤如下：

1）碳纤维成型预制体；将碳纤维磨碎成4-8mm的短碳纤维；

2）树脂浸渍；将上述短碳纤维树脂浸渍，所述的树脂为环氧和醛醛树脂；

3）炭化处理；将温度保持在950-1000度；

4）真空气相沉积；将上述预成品在真空环境下石墨化处理，温度保持在2190-2210度；

5）机床加工成型；

6）表面致密涂层；

7）热处理。