[发明专利]带双向自定位结构的可变真空电容器

说明书

技术领域

本发明涉及一种可变真空电容器，尤其涉及一种带双向自定位结构的可变真空电容器。

背景技术

真空电容器一般由两组高导电的无氧铜材料制成的同心圆筒形电极组成。两电极组的同轴与否直接决定了电极之间的耐压以及整个产品的电容量大小。因此在生产过程中，需要制造专用的装配以及焊接夹具来保证两电极组的同轴。为保证两电极组的同轴，传统的产品结构设计中，是在装配过程中采用定位夹具来进行，并在产品组装以及焊接后，最后再将定位夹具取出。因此电极组的同轴受到定位夹具的影响，并且在运输过程中，受到碰撞或冲击后电极组的同轴会发生变化，从而造成两电极组不同轴，使产品的耐压下降，同时产品的电容量发生变化。对于小片距的真空电容器来说，微小的片距变化甚至会使产品短路，无法工作。随着真空电容器在半导体制造设备中的推广运用，对产品的体积提出了更高的要求。产品体积小，耐压高，电容量大、机械寿命长，每圈电容量变化一致性好，产品可靠性高是目前半导体制造设备用户的普遍要求。因此保证产品在使用过程中两电极组的同轴显得尤为重要，但传统的产品结构已不能满足对小型产品的性能要求。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种可变真空电容器，无需使用装配定位夹具就能保证两电极环组始终同轴，从而提高小型电容器的耐压性能。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种带双向自定位结构的可变真空电容器，包括外壳以及设于该外壳内的静电极环组、动电极环组、定位电极环、拉杆和驱动机构，所述拉杆、定位电极环、静电极环组和动电极环组同轴心设置，所述静电极环组的一端和动电极环组的另一端相互对插且该静电极环组和动电极环组之间相互隔开相同的极间距离，所述静电极环组的另一端固定于所述定位电极环上，该定位电极环与所述外壳固连，所述动电极环组的一端与所述拉杆固连，所述驱动机构能够带动所述拉杆沿该拉杆轴线方向运动来调整该真空电容器的容量，还设有一定位棒，该定位棒的一端固连所述拉杆另一端，该定位棒的另一端活动套设于所述定位电极环内。

作为本发明的进一步改进，所述定位电极环为金属材质制成，所述定位棒为绝缘材质制成。

作为本发明的进一步改进，所述定位棒为陶瓷材料制成。

作为本发明的进一步改进，所述定位电极环为绝缘材质制成，所述定位棒为金属材质制成。

作为本发明的进一步改进，所述定位棒为圆柱形。

作为本发明的进一步改进，所述驱动机构包括转动螺杆、螺母、定位导套、波纹管和套筒，转动螺母一端与传动件固连，另一端与螺母自由啮合；所述螺母与所述拉杆一端固连，该拉杆一端套设于定位导套内，该定位导套一端与外壳内壁固连，该定位导套外侧套设有波纹管；套筒套设于所述转动螺杆和螺母外侧并与所述外壳固连。

本发明的有益效果是：通过在定位电极环内活动套设一定位棒，该定位棒在定位电极环的孔内能够同轴自由移动，从而使电容量发生变化过程中两电极环组仍然保持同轴，取消了可变真空电容器电极组装配焊接中的定位夹具，可有效提高产品耐压20%以上，减少每圈电容量差异5%以上。

附图说明

图1为本发明剖面结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——外壳        2——静电极环组

3——动电极环组  4——定位电极环

5——拉杆        6——定位棒

7——转动螺杆    8——螺母

9——定位导套    10——波纹管

11——套筒

具体实施方式

结合附图，对本发明作详细说明，但本发明的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本发明申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖范围之内。