[发明专利]一种全视觉半自动耦合平台

说明书

技术领域

本发明涉及光电子领域，尤其涉及一种全视觉半自动耦合平台。 

背景技术

现有的耦合平台一般采用五维微动调节与立式显微镜观察相结合的形式，五维微动调节平台保证空间5个自由度的任意调节，在调节时通过立式显微镜人眼观察耦合对象的相对位置； 

待耦合的第一耦合物件和第二耦合物件，第一耦合物件固定在五维调节架上，第二耦合物件被吸在真空吸嘴上，真空吸嘴通过吸嘴连杆进行固定；其中五维调节架在空间5个自由度可任意调节，达到对第一耦合物件位置的调节的作用；通过立式显微镜用人眼直接观察两个待耦合物之间的相对位置关系的同时调节五维调节架，保证两个物件的位置精度在所需要的范围内。 

现有的这种耦合平台存在以下缺陷： 

一个物件在空间有六个自由度，在这六个自由度方向上可随机的自由移动，被耦合第二耦合物件很有可能存在耦合调节极限，存在成品率低的隐患； 

立式显微镜观察方式是通过人眼观察显微镜的目镜来观察被耦合的物件，因为眼睛在通过显微镜观察被耦合物件的同时，还需要调节五维调节架来保证两个被耦合物件之间的相对位置关系达到我们所需要的状态，因此，存在眼睛疲劳以及视觉和调节相分离的。 

存在上述缺陷的原因： 

a)只靠五维调节架来调节两个分离的物件在空间的十二个自由度的相对位置，而且该相对位置要求很精确，精确到微米级别，要使该两个被耦合的物件能相对位置对好，那么，对另一个没有调节架的第二耦合物件的装夹 精度要求就很高，五维调节架所调节的第一耦合物件在空间也只能实现五个自由度的方向调节，从某种意义上来看，将有一个死角调节不到，如果在装夹第二耦合物件时有些位置没有保证好装夹精度，那么调节第一耦合物件耦合时就不能很好的耦合到所需要的位置精度，这在很大程度上将造成耦合的难度和耦合的效率。 

b)上述耦合平台的结构要求在观察第一耦合物件和第二耦合物件的相对位置的同时，需手动调节五维调节架来达到更好的位置精度。在调节五维调节架的过程中，眼睛只能通过显微镜来观察第一耦合物件和第二耦合物件，该过程中不能看到或不方便看到被耦合图以外的物件，这对操作调节架来说，将会是一个潜在的隐患，因为眼睛看不到，只能靠熟练程度和感觉去试探调节架的位置，耦合时，需要调节五维调节架的任意五个方向来保证第一耦合物件和第二耦合物件的相对位置，这时的操作难以做到特别精准，在某种程度上这将影响耦合的效率和成品率。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种全视觉半自动耦合平台，该平台调节精度高，可实现在三个方位对待耦合物件相对位置的观测。 

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：全视觉半自动有源阵列主动耦合平台，包括光学面包板防震台、物件安装调节架、六维调节架、真空吸嘴安装旋转机构、压缩空气过滤阀、真空阀、侧视摄像头安装调节架、后视摄像头安装调节架、平移滑台、俯视摄像头安装调节架和UV紫外线照射系统安装架； 

所述光学面包板防震台为一长方体平台，在其上表面靠近一个长边一侧的中部固定有物件安装调节架，所述物件安装调节架上固定第一耦合物件； 

所述物件安装调节架的一侧固定六维调节架，所述六维调节架在靠近物 件安装调节架的一端连接真空吸嘴安装旋转机构，所述真空吸嘴安装旋转机构的端部固定有真空吸嘴，所述真空吸嘴朝下对准物件安装调节架，真空吸嘴吸住第二耦合物件；所述真空吸嘴通过气管与真空阀连接，所述真空阀固定在光学面包板防震台上；所述真空阀通过气管与所述压缩空气过滤阀连通，所述压缩空气过滤阀固定在平移滑台靠近真空阀的一端； 

所述物件安装调节架的另一侧固定侧视摄像头安装调节架，在所述侧视摄像头安装调节架上安装侧视摄像头，且所述侧视摄像头水平朝向物件安装调节架； 

在所述光学面包板防震台的中心位置固定有后视摄像头安装调节架，在所述后视摄像头安装调节架上安装后视摄像头，且所述后视摄像头水平朝向物件安装调节架； 

在所述光学面包板防震台的另一个长边一侧平行于光学面包板防震台的长边方向固定有平移滑台，所述平移滑台的顶部设有导轨，在平移滑台的导轨上安装俯视摄像头安装调节架和UV紫外线照射系统安装架，所述俯视摄像头安装调节架顶部垂直连接一个俯视摄像头横梁，在俯视摄像头横梁的端部固定俯视摄像头，且俯视摄像头垂直朝向物件安装调节架；所述UV紫外线照射系统安装架的端部延伸至物件安装调节架的上方，且UV紫外线照射系统安装架的端部固定有UV紫外线照射装置。