[发明专利]丝线导引器和用于形成丝线导引器的方法无效

专利信息
申请号: 201310180344.0 申请日: 2013-05-15
公开(公告)号: CN103978311A 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: C·佐米尼;类维生 申请(专利权)人: 应用材料瑞士有限责任公司
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B28D5/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 侯颖媖
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要:
搜索关键词: 丝线 导引 用于 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种方法(1000;1100),包括:

相对于激光源(840;940)布置圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910),其中所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括外圆周表面(415;515;615;715),

通过将由所述激光源(840;940)产生的激光束(850;950;955)导向到所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415;515;615;715)以在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)中形成圆周凹槽(220;420;520;620;720;820;920),而形成待在丝锯装置(100)中使用的丝线导引器(112;114;116;118;200)。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包括:通过激光烧蚀在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面(415;515;615;715)内形成约1200个凹槽到约4000个凹槽(220;420;520;620;720;820;920)。

3.如权利要求1或2中的任一项所述的方法,其特征在于,所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括被聚合物涂覆的圆柱状主体,且其中形成所述丝线导引器进一步包括:在所述聚合物涂层内形成所述圆周凹槽(220;420;520;620;720;820;920)。

4.如权利要求1或2中的任一项所述的方法,其特征在于,形成所述丝线导引器进一步包括:在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面(415;515;615;715)内形成凹槽(220;420;520;620;720;820;920);以及

其中形成所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)包括形成具有以下各者的凹槽:

沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向的宽度(440),其中所述宽度(440)为约150微米到约230微米;和/或

沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的径向的所述凹槽的深度(430),其中所述深度(430)为约150微米到约200微米;和/或

从一个凹槽的中心到邻近凹槽的中心的节距(450),其中所述节距为约150微米到约200微米。

5.如权利要求3所述的方法,其特征在于,形成所述丝线导引器进一步包括在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆柱状表面(415;515;615;715)内形成凹槽(220;420;520;620;720;820;920);以及

其中形成所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)包括形成具有以下各者的凹槽:

沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向的宽度(440),其中所述宽度(440)为约150微米到约230微米;和/或

沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的径向的所述凹槽的深度(430),其中所述深度(430)为约150微米到约200微米;和/或

从一个凹槽的中心到邻近凹槽的中心的节距(450),其中所述节距为约150微米到约200微米。

6.如权利要求1或2中的任一项所述的方法,其特征在于,形成丝线导引器(112;114;116;118;200)包括:形成所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)且沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述宽度(290)上扫描所述激光束(850;950;955)。

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