[发明专利]发光特性测定装置以及方法无效

专利信息
申请号: 201310024897.7 申请日: 2013-01-23
公开(公告)号: CN103267628A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 伊藤昭成;柳泽幸树;松本宪典;佐藤哲也;石川真治;内田练 申请(专利权)人: 横河电机株式会社;夏普株式会社
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 发光 特性 测定 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种发光特性测定装置,其测定发光元件的发光特性,其特征在于,具有:

光学积分器,其具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口,从所述入射口对从所述多个发光元件输出的所述光进行受光,将受光的所述光均一化;

受光装置,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行受光;以及

控制处理装置,其使所述多个发光元件择一地依次发光,并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的所述入射口的位置相对应,对从所述受光装置依次获得的受光结果进行校正。

2.根据权利要求1所述的发光特性测定装置,其特征在于,

还具有载物台装置,其能够使所述多个发光元件沿所述多个发光元件的排列方向移动,

所述控制处理装置对所述载物台装置进行控制,以可由所述光学积分器的所述入射口获取光的发光元件的数量为单位,使所述多个发光元件沿所述排列方向移动。

3.根据权利要求1所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述控制处理装置对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正,以使得其与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置配置的所述发光元件发光的情况下从所述受光装置获得的受光结果相同。

4.根据权利要求1所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

5.根据权利要求2所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述控制处理装置,对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正,以使得其与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置上配置的所述发光元件发光的情况下从所述受光装置获得的受光结果相同。

6.根据权利要求2所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

7.根据权利要求3所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述控制处理装置,利用预先求出的高次校正函数或者校正表,对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

8.根据权利要求3所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

9.根据权利要求5所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述控制处理装置,利用预先求出的高次校正函数或者校正表,对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

10.根据权利要求5所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

11.根据权利要求7所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

12.根据权利要求9所述的发光特性测定装置,其特征在于,

所述受光装置具有:

分光器,其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光;以及

受光器,其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

13.一种发光特性测定方法,其测定发光元件的发光特性,其特征在于,具有:

配置步骤,在该步骤中,相对于具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口的光学积分器,配置所述多个发光元件,以使所述射出的光射入所述光学积分器的所述入射口;以及

校正步骤,在该步骤中,使所述多个发光元件择一地依次发光,并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的入射口的位置相对应,对由所述光学积分器均一化后的光依次受光而获得的受光结果进行校正。

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