[发明专利]多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法

权利要求书

1.一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于二氯二氢硅与氯在四氯化硅溶液中发生液相氯化反应，反应温度为-50~50℃，反应压力为0.5MPa以上，反应后生成四氯化硅和氯化氢。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于所述的反应压力为0.5~5MPa。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于具体步骤为：在充满四氯化硅的循环反应系统中，连续注入二氯二氢硅的四氯化硅溶液和氯的四氯化硅溶液，使二氯二氢硅与氯在四氯化硅溶液中发生连续的液相氯化反应；反应后的物料不断经分离器减压分离为气液两相，气相是被四氯化硅饱和的氯化氢气体，液相是被氯化氢饱和的四氯化硅，氯化氢气体被排出循环反应系统，被氯化氢饱和的四氯化硅的一部分从循环反应系统中溢流流出，余下部分再返回到循环反应系统循环使用。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于所述的二氯二氢硅的四氯化硅溶液中，二氯二氢硅与四氯化硅的摩尔比为1:20~200；所述的氯的四氯化硅溶液中，氯与四氯化硅的摩尔比为1:20~200。

5.根据权利要求3所述的一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于所述的二氯二氢硅的四氯化硅溶液和氯的四氯化硅溶液连续注入循环反应系统时，二氯二氢硅与氯的摩尔流率比为1:1.95~2.05。

6.根据权利要求3所述的一种多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法，其特征在于经分离器减压分离后的物料的压力控制在0.05~1MPa。