[实用新型]用于立式轴系的液体静压转动支承组件及研磨抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及立式轴系的液体静压转动支承结构以及精密超精密研磨抛光机，尤其涉及用于立式轴系的液体静压转动支承组件及研磨抛光机。

背景技术

精密超精密研磨抛光机主要用于对蓝宝石衬底、水晶、硅片、光电材料、光学玻璃、手机玻璃、手机触摸屏、陶瓷片、石英片、石墨密封环和硅晶圆等非金属材质的单面、双面研磨，还能用于对铜、铁、铝、不锈钢、模具钢、塑料、铝合金、锌合金、钛合金、镍合金、锡合金、硬质合金、碳钢和钨钢等各种金属材质的单面、双面研磨加工。研磨抛光机的转子作为核心部件，其性能的高低直接影响到精密超精密研磨抛光机的整体水平，而转子轴承对机床的平稳运行有着重要的影响。

目前，应用于精密超精密研磨抛光机的转子主要为滚动轴承支撑的部件。其不足之处在于：（1）该转子部件不是单独的功能部件，不能单独设计制造，装配到整体研磨抛光机的精度依赖于套筒和内部轴系的精度，装配周期长，成本高，装配精度不宜保证，维修拆卸困难；（2）滚动轴承部件中的滚动轴承是在接触状态下旋转工作，不可避免的存在摩擦磨损和疲劳磨损，使用寿命较短，工作一段时间之后，必须拆开主轴进行维修。因此现有的精密超精密研磨抛光机的转子不适用于生产周期短、装配精度高、研磨抛光精度高、维修拆卸方便的要求。

液体静压轴承由于承载能力强、润滑介质具有阻尼减振和“均化”误差的作用，因此采用液体静压轴承作为支承的机械制造设备主轴刚性好、回转精度高，非常适合于作为精密超精密磨削设备的主轴部件。但将液体静压转子用于精密超精密研磨抛光机，需要解决结构设计中内外套筒、上径向止推轴承、下径向止推轴承、进油回油等结构难题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单紧凑、可快速便捷的对其进行拆装、便于对其进行检修、回转精度高、非常适合于精密超精密研磨加工的用于立式轴系的液体静压转动支承组件以及具有该支承组件的研磨抛光机。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于立式轴系的液体静压转动支承组件，包括上液体静压轴承、下液体静压轴承、止推环、与旋转件连接的内套以及与固定件连接的外套，所述内套上部设有止推轴肩，所述止推环固定于所述内套下部，所述外套套设于内套外，所述外套内壁上设有止推凸台，所述止推凸台位于止推轴肩和止推环之间，所述上液体静压轴承装设于止推轴肩与止推凸台之间，所述下液体静压轴承装设于止推凸台与止推环之间。

所述上液体静压轴承与内套相接的一侧设有上径向轴承液体静压油腔，所述上液体静压轴承与止推轴肩相接的一侧设有上止推轴承液体静压油腔。

所述下液体静压轴承与内套相接的一侧设有下径向轴承液体静压油腔，所述下液体静压轴承与止推环相接的一侧设有下止推轴承液体静压油腔。

所述外套上部设有为上径向轴承液体静压油腔和上止推轴承液体静压油腔供油的上进油口，所述外套下部设有为下径向轴承液体静压油腔和下止推轴承液体静压油腔供油的下进油口。

所述上液体静压轴承于上止推轴承液体静压油腔两侧分别设有一个上泄油环槽，两个上泄油环槽经上液体静压轴承上所设的上连接槽连通，所述下液体静压轴承于下止推轴承液体静压油腔两侧分别设有一个下泄油环槽，所述两个下泄油环槽经下液体静压轴承上所设的下连接槽连通。

所述止推凸台与内套外侧壁之间形成回油腔，所述外套上设有与回油腔连通的排油口，所述上液体静压轴承上与内套相接的一侧设有上回油通道，所述上回油通道一端与上泄油环槽和上径向轴承液体静压油腔连通，另一端与回油腔连通，所述下液体静压轴承上与内套相接的一侧设有下回油通道，所述下回油通道一端与下泄油环槽和下径向轴承液体静压油腔连通，另一端与回油腔连通。

所述止推环与内套之间设有内侧密封件，所述止推环外侧圆周面上设有外侧密封件安装槽。

一种研磨抛光机，包括机架、上研磨盘、下研磨盘、上研磨盘主轴和下研磨盘主轴，所述上研磨盘由上研磨盘主轴驱动，所述下研磨盘由下研磨盘主轴驱动，所述下研磨盘主轴为套设于上研磨盘主轴外的空心轴，所述下研磨盘主轴通过上述的用于立式轴系的液体静压转动支承组件装设于所述机架上。

所述支承组件中的内套上端与下研磨盘主轴固接，下端与用于驱动下研磨盘的动力源连接，所述支承组件中的外套与机架固定连接。

所述研磨抛光机还包括工件夹持盘，所述上研磨盘主轴与下研磨盘主轴之间设有用于驱动所述工件夹持盘的工件夹持盘轴系。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：