[实用新型]一种炉底冷却结构及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉冷却技术领域，尤其涉及一种炉底冷却结构，同时还涉及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉。

背景技术

目前市场上，晶体生长炉（如单晶炉）的炉底换热夹层多为内嵌导流板结构，进水方式为左进右出或右进左出，即在晶体生长炉的内外炉底之间的夹层中间隔交错设置若干个导流板，使得从夹层一侧的进水口注入的水流经由导流板导流后从出水口流出，但是由于导流板与夹层周壁的结合处为盲端，在使用时，夹层中的气体会在水流的压迫下聚集在导流板与夹层周壁的结合处，从而造成局部憋气，进而使得晶体生长炉底部各处的温度不一，导致晶体生长炉内热场不均衡，增加工艺难度，严重时使炉内加工物破裂，加工失败。并且夹层中各处的温度不一致会导致内外炉底的使用寿命降低，从而使得整个晶体生长炉的使用寿命降低，降低晶体生长炉长期使用的可靠性。

申请号为201120106357.X的中国实用新型专利公开了一种炉底板冷却结构，该炉底冷却结构中内外炉底之间的导流板为从内外炉底之间的夹层的中心位置处呈螺旋状向外延伸的螺旋状结构，导流板的上侧一体连接在内炉底上，下侧焊接固定在外炉底上，并将进水口设置在外炉底的中心位置处，出水口设置在外炉底的边缘位置处，因此在使用时，冷却水能够从夹层的中心位置流入夹层中，并经由导流板围设而成的螺旋状导流通道从出水口流出，但是由于导流板处于夹层中心位置处的部分为围设在进水口周围的   C状进水段，从进水口进入夹层中的水流会在夹层的中心位置处聚集，导致外炉底的中心位置处所受到的水压比其他部分大，而且导流板与外炉底之间存在焊缝间隙，因此外炉底的中心位置处容易向下凸起变形，使外炉底与导流板的中心位置处的连接断开，长期使用会出现外炉底从中心位置处开始逐渐从导流板上脱落的问题，从而导致从进水口流入夹层中的水，经由折流板与外炉底之间的断裂间隙从出水口流出，使得夹层中的水层与内炉底之间会产生憋气层，而且憋气层根据内炉底与导流板断裂的程度，在夹层中各处的厚度各不相同，进而导致了夹层中各处散热效率不同的问题，使得内炉底上各处的温度各不相同。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种外炉底与导流板连接可靠的炉底冷却结构，同时还涉及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉，旨在解决现有技术中晶体生长炉的外炉底长时间在大流量和高水压的环境下长期工作易变形凸起，导流板易倒伏，脱离的问题。

为了实现以上目的，本实用新型所采用的技术方案是：

本实用新型的炉底冷却结构的技术方案如下：

一种炉底冷却结构，包括内、外炉底以及夹设在内、外炉底之间的螺旋状的导流板，所述导流板具有处于外炉底中心位置处的C状的进水段，所述内、外炉底之间设有处于所述进水段内或贴近在导流板侧壁上或穿设在导流板中的连接柱体，所述连接柱体的两端分别固定在内、外炉底上。

所述连接柱体为拉钉，所述连接柱体的上端通过其焊接密封在内、外炉底的其中一个上开设的拉丁槽内，所述连接柱体的下端焊接固定在内、外炉底的其中另一个上。

所述连接柱体处于内、外炉底中间的部分焊接固定在导流板的侧壁上。

所述连接柱体有至少两个，并沿所述导流板的进水段的边沿均匀分布。

所述内、外炉底之间固定有处于导流板的除进水段以外的其余部分的侧壁处的防脱体，所述防脱体的一端固定在内炉底上，另一端与外炉底在上下方向限位配合，所述防脱体沿导流板的延伸方向间隔均匀分布。

本实用新型的晶体生长炉的技术方案如下：

一种晶体生长炉，包括处于炉体底部的炉底冷却结构，所述炉底冷却结构包括内、外炉底以及夹设在内、外炉底之间的螺旋状的导流板，所述导流板具有处于外炉底中心位置处的C状的进水段，所述内、外炉底之间设有处于所述进水段内或贴近在导流板侧壁上或穿设在导流板中的连接柱体，所述连接柱体的两端分别固定在内、外炉底上。

所述连接柱体为拉钉，所述连接柱体的上端通过其焊接密封在内、外炉底的其中一个上开设的拉丁槽内，所述连接柱体的下端焊接固定在内、外炉底的其中另一个上。

所述连接柱体处于内、外炉底中间的部分焊接固定在导流板的侧壁上。

所述连接柱体有至少两个，并沿所述导流板的进水段的边沿均匀分布。

所述内、外炉底之间固定有处于导流板的除进水段以外的其余部分的侧壁处的防脱体，所述防脱体的一端固定在内炉底上，另一端与外炉底在上下方向限位配合，所述防脱体沿导流板的延伸方向间隔均匀分布。