[实用新型]炉体冷却结构及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉冷却技术领域，尤其涉及一种炉体冷却结构，同时还涉及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉。

背景技术

目前市场上提供的晶体生长炉的炉体冷却结构为内嵌导流板结构，也就是在晶体生长炉的内外炉壁之间的夹层中在上下方向上间隔平行设置有若干层导流板，相邻两层导流板上开设有连通不同层流道的开口，使得从炉壁底部流入内、外炉壁之间夹层中的冷却用水经由各个流道从炉壁顶部开设的出水口溢出，但是由于在冷却用水从下层导流板上的开口流入流道后，会分流成两股流向相反的水流，并在上层导流板开口设置处汇合后从上层导流板上的开口流出，也就是相邻两层导流板上的开口均具有两条可相互连通的流道，使得流道不能给冷却用水提供导向，只能通过冷却用水在流道内的堆积才能从上层导流板上的开口流出，因而在冷却用水注满整个内、外炉壁之间的夹层后，流至炉壁中部位置处的冷却用水流的流速会显著减小，而晶体生长炉在炉壁的中心位置处温度较高，因而在炉壁的中部位置处的冷却用水中常常会出现大量气泡，且这些气泡只能缓慢的在水流的推动下从出水口排出，甚至在多个气泡合并后会卡滞在上下相邻两个导流板之间，从而使得冷却用水中出现憋气的情况,使得炉壁中部位置处的散热不均匀，进而导致晶体生长炉的生产效率降低并且严重时会影响晶体质量，使用寿命缩短。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种炉壁中部散热均匀的炉体冷却结构，同时还提供了一种使用该炉体冷却结构的晶体生长炉，旨在解决现有技术中炉壁中部容易憋气引起的局部换热不均及提高晶体质量的问题。

为了实现以上目的，本实用新型所采用的技术方案是：

本实用新型的炉体冷却结构的技术方案如下：

炉体冷却结构，包括夹设在内外炉壁之间的、在上下方向呈层状间隔平行分布的环形的导流板，所述的导流板将内外炉壁之间的空间自上而下分隔为呈层状分布的流道，在导流板上开设有用于连通相邻层流道的开口，相邻两层导流板之间设置有将其两者之间的流道阻断为C型流道的隔板，相邻两层导流板上的开口分别处于该两层导流板之间的隔板的相对两侧、且靠近隔板的位置处。

相邻两层流道内的隔板一体连接。

本实用新型的晶体生长炉的技术方案如下：

晶体生长炉，包括内、外炉壁以及内、外炉壁之间设置的炉体冷却结构，所述炉体冷却结构包括夹设在内外炉壁之间的、在上下方向呈层状间隔平行分布的环形的导流板，所述的导流板将内外炉壁之间的空间自上而下分隔为呈层状分布的流道，在导流板上开设有用于连通相邻层流道的开口，相邻两层导流板之间设置有将其两者之间的流道阻断为C型流道的隔板，相邻两层导流板上的开口分别处于该两层导流板之间的隔板的相对两侧、且靠近隔板的位置处。

相邻两层流道内的隔板一体连接。

本实用新型在相邻两层导流板之间设置有将流道分割为C型流道的隔板，相邻两层导流板上的开口分别处于导流板的相对两侧，且靠近隔板的位置处，从而在使用过程中，导流板围成的流道为连通进、出水口的单向流道，使得从进水口流入流道内的冷却用水不需要分流，而是在流道的导流作用下从溢流口流出，从而使得在炉壁中部位置处产生的气泡能够及时随冷却用水从出水口流出，不会出现在炉壁中部位置处出现憋气的问题，进而解决了现有技术中炉壁中部容易憋气的问题。

附图说明

图1是本实用新型的实施例的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的晶体生长炉的实施例：如图1所示，该晶体生长炉包括内、外炉壁1、2以及处于内、外炉壁1、2之间的炉体冷却结构。所述炉体冷却结构包括夹设在内、外炉壁1、2之间的导流板3、外炉壁2的底部开设的进水口4、外炉壁2的顶部开设的出水口5。该导流板3为围设在内炉壁外周上的环形导流板3，导流板3在上下方向呈层状间隔平行分布，相邻两层导流板3之间具有用于供冷却用水流过的流道，也就是导流板将内外炉壁之间的空间自上而下分隔为呈层状分布的流道，流道中设置有将流道隔断为C型流道的隔板3-1，在相邻两层导流板3上开设有处于隔板3-1的相对两侧的开口（即用于与炉壁底部开设的进水口4或下层流道连通的入水口6以及用于与出水口5或上层流道连通的溢流口7），且相邻两层导流板3上的开口均处于靠近隔板3-1的位置处。进水口4处于最底层一个流道的开始端，出水口5处于最顶层一个流道的末端。