[实用新型]一种扩散炉

权利要求书

1.一种扩散炉，包括机架，其特征在于：所述的机架由炉门开关装置(3)和设于炉门开关装置(3)左右两侧的左架体(11)和右架体(12)组成，所述的左架体(11)上依次设置有上下排列的传送装置(2)和工控系统装置(6)，所述的右架体(12)上依次设置有左右排列的硅片扩散装置(4)和空气净化装置(5)。

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述的炉门开关装置(3)由炉门(31)、驱动炉门(31)上下移动的第一气缸(32)和驱动炉门(31)左右移动的第二气缸(33)组成。

3.根据权利要求1或2所述的扩散炉，其特征在于，所述的硅片扩散装置(4)包括扩散炉体(41)、设于扩散炉体(41)内的石英管(42)以及设于石英管(42)上的充排气管(43)，扩散炉体(41)外设有热偶感应线(44)。

4.根据权利要求3所述的扩散炉，其特征在于，所述的空气净化装置(5)包括与石英管(42)连接的恒温槽(51)以及与恒温槽(51)连接的石英瓶(52)。