[实用新型]用于多晶硅生产中氢气再利用装置有效
| 申请号： | 201220222972.1 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202558651U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 郑珂;陈霞;陈虎;娄彬;施国林;柳显宾;王彤彤 | 申请（专利权）人： | 山东瑞阳硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/12 | 分类号： | C01B33/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 271200 山东省泰*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 生产 氢气 再利用 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于多晶硅生产中氢气再利用装置，包括连接制氢站的第一氢气缓冲罐，所述第一氢气缓冲罐分别连接白炭黑氢气缓冲罐和还原炉；
分别连接干法回收氢气加压分离净化装置和活性炭吸附塔的第二氢气缓冲罐，所述第二氢气缓冲罐连接所述还原炉；其特征在于：
所述第二氢气缓冲罐与白炭黑氢气缓冲罐之间通过第一支路连通，所述第一支路上设有止回阀。
2.如权利要求1所述的用于多晶硅生产中氢气再利用装置，其特征在于：所述第一支路上设有第一压力调节阀。
3.如权利要求1所述的用于多晶硅生产中氢气再利用装置，其特征在于：所述第一支路上设有连锁切断阀。
4.如权利要求1所述的用于多晶硅生产中氢气再利用装置，其特征在于：所述第一氢气缓冲罐与第二氢气缓冲罐之间通过第二支路连通。
5.如权利要求4所述的用于多晶硅生产中氢气再利用装置，其特征在于：所述第二支路上设有第二压力调节阀。
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