[实用新型]一种移动式单晶炉检漏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备检测技术领域，更具体地说，涉及一种移动式单晶炉检漏装置。 

背景技术

单晶炉是生产单晶硅的重要设备，通过在惰性气体环境中利用石墨加热器将多晶硅熔化，利用直拉法生长无错位单晶硅。 

单晶炉在抽空检漏过程中有时会出现单晶炉漏气现象，为了能够准确找到单晶炉的漏气点，在检漏过程中经常会用到氦气检漏装置。氦气检漏装置由氦气检漏仪和氦气瓶组成。由于氦气检漏仪和氦气瓶的重量均较大，同时，氦气检漏仪的长方体外形，而氦气瓶为圆柱体外形，二者不同的外形给共同运输带来不便。 

由以上所述，如何提供一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。 

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题。 

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案： 

一种移动式单晶炉检漏装置，包括氦气检漏仪和氦气瓶，还包括检漏小车，检漏小车包括底架、与底架固定相连的车轮和与底架固定相连的氦气瓶固定架； 

氦气检漏仪设置在底架上，氦气瓶通过氦气瓶固定架与检漏小车固定相连。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，底架包括由方管焊接而成的矩形边框、与矩形边框焊接相连的车把和铺设在矩形边框上的载重板。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，四个车轮分别设置在矩形边框的直角处。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，车轮为能够锁死的树脂车轮。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，车轮包括两个定向轮和两个万向轮。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，氦气瓶固定架包括垂直于载重板并与载重板固定相连的支撑杆、与载重板呈45度夹角并与支撑杆固定相连的导向杆、与导向杆固定相连的弧形连接板和固定设置在导向杆底部的挡板。 

优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，支撑杆和导向杆为方管，连接板和挡板为厚度2mm的铁板。 

本实用新型提供了一种移动式单晶炉检漏装置，该单晶炉检漏装置包括氦气检漏仪、氦气瓶和检漏小车，其中，检漏小车包括底架、与底架固定相连的车轮和与底架固定相连的氦气瓶固定架。氦气检漏仪设置在底架上，氦气瓶通过氦气瓶固定架固定设置在底架上。与现有的检漏装置相比，本实用新型所提供的单晶炉检漏装置将氦气检漏仪和氦气瓶固定设置在检漏小车上，在使用时，通过检漏小车可以方便地将整套单晶炉检漏装置移动到待检测单晶炉旁，提高了工作效率，解决了现有检漏装置运输和使用不便的问题。 

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本实用新型实施例提供的单晶炉检漏装置的右视图； 

图2为本实用新型实施例提供的单晶炉检漏装置的正视图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

本实用新型实施例公开了一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题。 

本实用新型所提供的移动式单晶炉检漏装置包括氦气检漏仪、氦气瓶和检漏小车。 

如图1所示，检漏小车包括底架1、与底架1固定相连的车轮2和与底架1固定相连的氦气瓶固定架3。其中，底架1包括由方管焊接而成的矩形边框11、与矩形边框11焊接固定相连的车把12和铺设在矩形边框11上的载重板13；车轮2包括设置在矩形边框11上车把12一侧的两个万向轮21和设置在矩形边框11上车把12对侧的两个定向轮22；氦气瓶固定架3包括垂直于载重板13并与其固定相连的支撑杆31、与载重板13呈45度夹角设置并与支撑杆31固定相连的导向杆32、与支撑杆31固定相连的弧形连接板33和固定设置在导向杆32底部的挡板34。