[发明专利]一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法

权利要求书

1.一种非球形二氧化硅溶胶，包括液体介质和溶胶颗粒，所述溶胶颗粒由2~10个二氧化硅胶体粒子聚集而成。

2.如权利要求1所述的一种非球形二氧化硅溶胶，其特征在于，所述二氧化硅胶体粒子经扫描电镜观察粒径为30-100nm，动力学激光散射测得的粒径为30-50nm；液体介质是水，pH为8~10。

3.如权利要求1所述的一种非球形二氧化硅溶胶，其特征在于，所述溶胶颗粒由2~10个二氧化硅胶体粒子聚集而成，并呈花生状或梅花状。

4.如权利要求1-3任一权利要求所述的非球形二氧化硅溶胶的制备方法，包括如下步骤：

1）在SiO2的活性硅酸溶液中，加入水溶性钙盐、镁盐或者它们的混合物水溶液，混合并震荡搅拌；

2）在步骤1制得的水溶液中加入碱金属氢氧化物或有机碱的水溶性溶液进行混合，使溶液pH为8.5-10.5；

3）将步骤2所得溶液加热搅拌，制成起始硅溶胶；

4）将步骤3所得溶胶通过阳离子交换床和阴离子交换床，制成碱性硅溶胶；

5）将苯乙烯单体溶于醇中，搅拌均匀，与步骤4所得的溶胶混合，并加入过氧化苯甲酰，使得苯乙烯单体体积与溶胶体积比为0.1-1:1000，过氧化苯甲酰质量为0.1-1g；

6）将步骤5所得混合溶液持续搅拌直至苯乙烯完全聚合；

7）将步骤6所得溶胶中加入活性硅酸，制得二氧化硅含量为25~35%的非球形二氧化硅溶胶。

5.如权利要求1-3任一权利要求所述的非球形二氧化硅溶胶在CMP抛光领域的应用。