[发明专利]一种塑封IC开封方法无效

专利信息
申请号: 201210580087.5 申请日: 2012-12-27
公开(公告)号: CN103065936A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 冯海科 申请(专利权)人: 西安芯派电子科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人: 张震国
地址: 710075 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 塑封 ic 开封 方法
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种IC的湿法开封方法,特别涉及一种塑封IC开封方法。

背景技术

随着电子产品的飞速发展与进步,塑封IC产品的可靠性问题已经成为电子元器件供应商关心的主要问题之一。塑封IC刚开始时,可靠性是很差的。当然,IC美国是老大,日本的IC更差。所以日本的电子产品大多要靠进口美国的IC。一开始,美国对塑封IC的可靠性差,认为是理所当然的。他们称要用高可靠性的IC,就要用陶瓷封装的IC,因为那是通过严格的测试的。但是日本的失效分析专家做了实实在在的测试、失效分析、DPA(破坏性物理实验,以良品开封为核心),把失效的问题找出来了,通过不断的改善,使日本的塑封IC可靠性也大大提高。现在国内的一些电子元器件供应商为了提高塑封IC产品的可靠性,需要对塑封IC产品进行开封,找出失效点,进而提出改进措施。目前国内主要以购买美国和日本的自动开封机为主,进行塑封IC产品的开封,但是自动开封机具有以下几个缺陷:

1.自动开封机成本较高,进口价格一般在3万美金左右,而且后续不断的向设备供应商购买一些专利酸液,对于国内的中小型企业是一笔沉重的负担。

2.自动开封机开封需时较长,例如针对于一颗DIP8的塑封IC,需要时间大约为45分钟左右,如果需要进行多颗塑封IC进行分析时,需时较长,严重影响效率。

结合以上分析,需要一种适合中国中小企业的一种塑封IC的开封方法。目前个别企业都有自己相应的塑封IC开封方案,但技术均不成熟,存在较多缺陷:其一,开封速度慢。其二,样品芯片表面残留胶多不干净,不利于失效点观察。除此之外还存在诸多问题,有待改进。

发明内容

本发明要解决的问题是:提供一种塑封IC开封方法,操作简单、开封时间短,成本较低。

本发明采用的技术方案是:

一种塑封开封方法,首先按照体积比为3:1将硝酸和硫酸配成混合酸液,加热至50~80℃后,将混合酸液滴注在芯片上方,使酸液与塑封料反应,直至芯片全部裸露出来,最后在裸露的芯片上方滴注硫酸以清洗芯片表面,最后将芯片清洗干净即可。

作为本发明的优选实施例,酸液与塑封料反应直至芯片全部裸露出来的具体方法为:将酸液滴注到塑封IC表面,使酸液充分与塑封料反应,反应结束后,用无水乙醇清洗,之后重复在塑封IC表面滴注酸液、清洗,直至芯片完全裸露出来。

作为本发明的优选实施例,所述塑封IC的表面设置有凹槽,所述酸液滴注在凹槽内。

作为本发明的优选实施例,硝酸和硫酸均为分析纯级。

作为本发明的优选实施例,滴注到塑封IC表面的酸液温度为60℃。

作为本发明的优选实施例,最后将芯片清洗干净的方法为:先用超声波清洗,再用水清洗,最后用无水乙醇清洗。

本发明的优点:本发明方法开封时间短的原因为:一、硝酸和硫酸形成混酸进行腐蚀;二、芯片表面开有凹槽;三、对酸液进行加热,而不是对样品进行加热,减小对样品的影响。

具体实施方式

1.原材料准备:需要准备的原材料有:分析纯级浓硫酸,分析纯级浓硝酸,无水乙醇,滴管一只,烧杯若干。

2.腐蚀酸液配置:将分析纯级浓硝酸和分析纯级浓硫酸按照3:1的体积比进行配制,配制酸液时一次不要配制太多。

3.加热腐蚀酸液:将配置好的腐蚀酸液加热到50~80℃之间后,稳定温度使酸液始终保持在50~80℃,建议温度为60℃.可以将温度计插入酸液中监控酸液温度。

4.样品准备:清理样品表面的异物,使酸液可以直接与塑封料接触。最好在芯片上方位置制作出一个凹处,方便酸液停留腐蚀,这样可以加快开封速度。

5.样品腐蚀:将加热好的酸液用滴管滴注在芯片上方位置,使酸液与塑封料反应,然后将样品放入盛有无水乙醇的烧杯中清洗,清洗后继续滴注,不断重复以上操作,直到芯片全部裸露出来。

6.芯片表面清理:将分析纯级浓硫酸滴注在裸露出的芯片表面,停滞5秒后将样品放入盛有无水乙醇的烧杯中清洗,反复操作3次。

7.样品清洗:用水将样品清洗3次,防止酸液残留对人员造成伤害。最终将样品放入无水乙醇中10秒后拿出即可。如果有超声波清洗机,可以在样品放入无水乙醇前进行超声波清洗,效果会更好。用无水乙醇进行清洗能够防止芯片表面有水痕遗留,影响观察。

最后说明的是,以上实例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安芯派电子科技有限公司,未经西安芯派电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210580087.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top