[发明专利]照明装置、照明方法以及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及照明光量可变的照明装置和照明方法，以及使用了该照明装置的检查装置。

背景技术

以往，已知在专利文献1中记载的针对透明板状体的缺陷检测装置。在该缺陷检测装置（检查装置）中，在作为被检查体的透明板状体被配置于其一面侧的照明器进行照明的状态下，利用配置于该透明板状体的另一面侧的CCD摄像机拍摄该透明板状体。然后，对由CCD摄像机进行拍摄而得到的图像进行处理，由此检测存在于透明板状体的伤痕等缺陷。

用于该缺陷检查装置的照明器（照明装置）采用卤素灯、氙气灯、高压汞灯、钠灯等作为光源。而且，确定所述照明器的合适的照明光量，以便能够通过CCD摄像机的拍摄而得到能够判别伤痕等缺陷的图像。

专利文献

专利文献1：日本特开2001-141662号公报

此外，由于照明光量高并且寿命长等优点，考虑使用公知的高亮度LED作为照明装置的光源。为了维持较高的照明光量，作为一例，以该高亮度LED为光源的照明装置构成为，利用混合了荧光体的树脂将多个LED（发光元件）进行密封的结构。但是，在将该设定光量从以最初设定的初始光量发光的状态切换为目标光量的情况下，由于所述荧光体的存在以及前述的结构等原因，实际的照明光量达到所述目标光量需要比较长的时间（例如，有时要耗费20分钟左右）。因此，在伴随被检查体的品种变更而需要变更照明光量的情况下，在达到适当的照明光量前会耗费时间，延缓了品种切换后的检查。另一方面，如果在达到适当的照明光量之前开始检查，则难以进行高精度的检查。

发明内容

本发明正是鉴于这样的情况而完成的，其提供一种照明装置和照明方法，其中，即便如使用了高亮度LED等光源的照明装置那样，使用了当将设定光量切换为目标光量时，在照明光量达到所述目标光量之前需要的时间比较长的（即，对设定光量的切换的响应性不好的）照明单元，也能够在切换设定光量时以比较短的时间使实际的照明光量达到目标光量。

此外，本发明提供一种使用了上述那样的照明装置的检查装置。

本发明的照明装置具有：第1照明单元，其以与设定光量对应的照明光量对被照明体进行照明；第2照明单元，其对于设定光量的切换的响应性优于所述第1照明单元，并以与来自所述第1照明单元的照明光进行了叠加的照明光对所述被照明体进行照明；以及照明控制单元，其将所述第1照明单元的照明光量维持在预定量，同时，通过按照控制信息进行的设定光量的切换，控制所述第2照明单元的照明光量。

本发明的照明方法包含以下步骤：第1照明单元以与设定光量对应的照明光量对被照明体进行照明；第2照明单元以与来自所述第1照明单元的照明光进行了叠加的照明光对所述被照明体进行照明，其中，该第2照明单元对于设定光量的切换的响应性优于所述第1照明单元；以及将所述第1照明单元的照明光量维持在预定量，同时，通过按照控制信息进行的设定光量的切换，控制所述第2照明单元的照明光量。

通过这些结构，来自维持在预定量的第1照明单元的照明光上叠加来自第2照明单元的照明光，而对被照明体进行照明。而且，通过按照控制信息进行的设定光量的切换控制，控制来自第2照明单元的照明光量，由此，带着第2照明单元对于设定光量的切换的响应性，来控制来自第1照明单元的照明光与来自第2照明单元的照明光叠加而得到的整体的照明光的光量。

对于所述设定光量的切换的响应性是基于从将设定光量向目标光量进行切换时开始到照明光量成为所述目标光量为止的时间的特性，该时间越短响应性越好。

此外，本发明的检查装置具有：将被检查体作为所述被照明体进行照明的所述照明装置；摄影单元，其对由所述照明装置照明的所述被检查体进行拍摄；以及处理单元，其使用通过所述摄影单元的拍摄而得到的图像进行关于所述被检查体的检查处理。

根据这样的结构，来自光量被维持在预定量的第1照明单元的照明光与来自通过设定光量的切换而切换控制光量的第2照明单元的照明光叠加，通过摄影单元对被叠加照明的被检查体进行拍摄，使用通过该拍摄而得到的图像完成该被检查体的检查处理。