[发明专利]一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置有效
| 申请号： | 201210561625.6 | 申请日： | 2012-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN103017178A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;单传丽;甘治平;王东;石丽芬;金良茂;张家林 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23J15/02;B01D50/00;B01D53/02;B01D53/81;B01D53/68 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 在线 功能 废气 净化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置，包括气源管道H，在气源管道H上连接变频废气风机（1），气源管道H连接燃烧室（2），在燃烧室（2）上设有燃烧器（3），燃烧室（2）通过管道连接超高温静电除尘器（4），超高温静电除尘器（4）通过管道连接活性炭纤维净化器（8），活性炭纤维净化器（8）通过管道连接引风机（9），其特征在于还包括：
a、在超高温静电除尘器（4）与活性炭纤维净化器（8）之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置（5）和布袋除尘器（7），干式脱酸器（5）的侧端口D通过管道连接布袋除尘器（7）的端口E，干式脱酸装置（5）的下端口A通过管道与超高温静电除尘器（4）的端口B相连接，干式脱酸器（5）的顶部端口C通过管道N与供碱仓（11）相连接，在干式脱酸器（5）的下方通过管道M连接回收仓（12）；
b、布袋除尘器（7）的端口F通过管道连接活性炭纤维净化器（8），布袋除尘器（7）的下端设有出料口G。
2.根据权利要求1所述的一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置，其特征在于：所述的干式脱酸器（5）的内部分别设有前扰流板6a和后扰流板6b，在管道N上设有碱料泵（10b），管道M上设有回收泵（10a）。
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