[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及从喷嘴吐出液体而将图形或文字记录于被记录介质或形成功能性薄膜的液体喷射头、使用该液体喷射头的液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

近年来，利用将墨滴吐出至记录纸等而记录文字、图形或将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式为，将墨或液体材料从液体罐经由供给管而供给至液体喷射头，使填充至通道的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在墨的吐出时，使液体喷射头或记录所喷射的液体的被记录介质移动，记录文字或图形或者形成既定形状的功能性薄膜。

在专利文献1中，记载了在由压电材料构成的薄板形成有由许多槽构成的墨通道的喷墨头60。图19是专利文献1的图2所记载的喷墨头60的剖面图。喷墨头60具有基板62、压电部件65以及盖部件64的层叠构造。在基板62的中央形成有供给口81，排出口82形成为夹着供给口81。在基板62的表面粘接有压电部件65和框部件63，在其上表面粘接有盖部件64。

压电部件65将使极化方向互相对置的2块压电板73粘在一起而形成。在压电部件65磨削形成有沿副扫掠方向（与纸面平行的方向）延伸的多条微细的槽，形成有沿主扫掠方向（与纸面垂直的方向）以等间隔并排的多个压力室74。压力室74（通道）由邻接的一对壁75划分，在一对壁75的相对的侧面和其间的底部连续地形成有电极76，还经由形成于基板62的表面的电布线77而与IC 66电连接。盖部件64经由粘接剂而将薄膜92和增强部件94而贴在一起，使增强部件94成为压电部件65侧，粘接于压电部件65和框部件63。在增强部件94和薄膜92 形成有与各压力室74相对应的开口96和喷嘴72。

墨从基板62的中央的供给口81供给，流动至多个压力室74，进一步流动至墨室90，从排出口82排出。然后，如果驱动脉冲从IC 66经由电布线77而施加至夹着压力室74的一对壁75的电极76，则一对壁部75发生剪切变形而以弯曲的方式背离，接着，复位至初始位置，提高压力室74内的压力。与此相伴的是，从喷嘴72吐出墨滴。

在此，各压电部件65具有梯形形状。在梯形形状的倾斜面形成有电极，该倾斜面的电极将形成于基板62的表面的电布线77和形成于压电部件65的侧面的电极76电连接。另外，在基板62，形成有墨供给用的多个供给孔81和墨排出用的多个排出孔82。因此，基板62的表面的电布线77以回避这些供给孔81和排出孔82的方式迂回形成。在专利文献2和专利文献3中也记载了大致相同构造的喷墨头。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009－196122号公报；

专利文献2：日本特许第4658324号公报；

专利文献3：日本特许第4263742号公报。

在专利文献1所记载的喷墨头60中，有必要将粘接于基板62的表面的压电部件65倾斜加工成梯形状。而且，有必要在该梯形状的倾斜面、两侧面以及基板62的表面形成导电膜，将两侧面的导电膜电分离而形成电极76，并且，对基板62上的导电膜进行构图而形成许多电布线77。可是，在基板62的表面粘接有压电部件65，存在着许多突起物。另外，应该加工的导电膜倾斜。因此，利用光刻和蚀刻法的微细加工困难。于是，在专利文献1中，通过激光构图而一条一条地形成电布线77，针对每个压电部件65的倾斜面而将倾斜面上的导电膜电分离。这样，由于电极的加工是线加工，因而对位等复杂，而且，需要大量的时间。另外，由于在将电布线77形成于基板62上之后设置框部件63，因而框部件63的对位、粘接加工，另外，框部件63的表面94a和梯形状的压电部件65的表面的平坦化等制造工序变得极其复杂。

另外，在专利文献1的喷墨头60中，相对于基板62而在墨的吐出侧的表面92a的一侧形成有电布线77，搭载有IC 66。由于盖部件64与被记录介质之间接近，因而IC 66的高度受到限制。另外，必须由柔性基板等将IC 66和未图示的控制电路电连接，但在这种情况下，高度也受到限制。

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供一种液体喷射头，该液体喷射头电极图案的加工容易，而且，与控制电路等之间的电连接部的高度限制得到缓和。

发明内容