[发明专利]利用光反射原理测量晶圆传输中变形量的方法

权利要求书

1.一种利用光反射原理测量晶圆传输中变形量的方法，其特征在于，包括步骤：

S1，在晶圆载台旁安装激光发射器和刻度尺，获取给定厚度测试块在刻度尺上数据，并在晶圆片圆心及圆周等分点上加以标记；

S2，传输晶圆片到晶圆载台上方，获取晶圆片圆心标记处在刻度尺上数据；

S3，移动并转动激光发射器和刻度尺，依次获取晶圆片圆周各标记处在刻度尺上数据；

S4，根据晶圆片各标记处及测试块在刻度尺上数据，计算晶圆片变形量并绘制晶圆变形曲线。

2.根据权利要求1所述的利用光反射原理测量晶圆传输中变形量的方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11，所述的晶圆载台(1)安装于测量平台(2)上，晶圆载台(1)的上平面与测量平台(2)的上平面平行，均为水平面；

S12，所述的激光发射器(3)安装于立柱(4)上，并可绕着水平安装的销(5)在铅直面内转动，激光发射器(3)的高度可上下调节，所述的立柱(4)可在测量平台(2)上前后左右移动并可绕铅直线转动，所述的刻度尺(8)可在测量平台(2)上前后左右移动并可绕铅直线转动；

S13，调整激光发射器(3)高度至合适位置，用锁紧螺钉(图中未标出)锁紧，调整激光光束铅直向下，调整立柱(4)位置，使激光光束在测量平台(2)上的照射点A在晶圆载台(1)水平中心线O₁O₂在测量平台(2)铅直投影线的延长线上，调整刻度尺(8)位置，使刻度线下端点位置B在晶圆载台(1)水平中心线O₂O₁在测量平台(2)铅直投影线的延长线上；

S14，在晶圆载台(1)上平面水平中心线右端点O₂上作标记，转动激光发射器(3)角度，将激光打在O₂点上，获取O₂点在刻度尺上数据O′₂；

S15，在晶圆载台(1)上放置给定厚度的测试块(6)，以O₂点为起点，沿铅直线向上，在测试块(6)的上表面上作标记点P₂，使O₂P₂距离等于测试块(6)的厚度，转动激光发射器(3)角度，将激光打在P₂点上，获取P₂点在刻度尺上数据P′₂；

S16，在晶圆片(7)上作圆心及圆周n等分点标记a_i，其中，i＝0，1，2，……n。

3.根据权利要求1所述的利用光反射原理测量晶圆传输中变形量的方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

S21，移走测试块(6)，用传输机械手(图中未标出)将做好标记的晶圆片(7)传输到晶圆载台(1)上方，并使晶圆片中心a₀的铅直投影与晶圆载台中心O重合，晶圆片(7)圆周上第一个标记a₁的铅直投影与晶圆载台水平中心线重合；

S22，调整激光光束铅直向下，沿水平线同步向左平移立柱(4)和刻度尺(8)，移动距离为晶圆载台半径R₀，保证激光光束在测量平台(2)上的照射点C与刻度线下端点位置D之间的距离等于AB之间的距离；

S23，转动激光发射器(3)角度，将激光打在晶圆片圆心标记a₀处并反射到刻度尺上，获取晶圆片圆心标记在刻度尺上数据b₀。