[发明专利]水蒸气测量装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体测量，特别涉及水蒸气测量装置及方法。

背景技术

在部分工业过程气体检测中，需要测量混合气体中的水蒸气含量。目前，质谱仪在测量碎片系数及建模过程中，由于无法获得有效的水蒸气标气而无法建立有效的水蒸气定量模型。如下表格给出了为创建定量曲线的界面。

步骤名称O₂(I₁₆)H₂O(I₁₈)N₂(I₂₈)CO₂I₄₄1背景信号10.00000e00.00000e00.00000e00.00000e02碎片(H₂O)0.1100001.000000003碎片(CO₂)0.09000000.1100001.0000004标气10.00000e00.00000e00.00000e00.00000e0

表格1中各行信息解释如下：第1行中显示的是个离子的背景(噪声信号)信号，仪器在通入背景气(如Ar)时测量此信号。第2行和第3行为离子碎片行，分别显示H₂O和CO₂碎片离子信号，在仪器分别通入纯的H₂O，和CO₂时测量，测量碎片离子信号用于计算碎片系数。第4行为标气行，通入包含所有被测气体的一瓶混合标气时测得各定量离子信号强度，保存于矩阵中，用于计算相对校准因子RS。

上述技术方案存在的主要不足为：

1、水的标气不好获取，无法建立水的碎片离子系数，无法有效扣除水蒸气交叉干扰。

2、混合标气中无法准确配入水蒸气做混标，不能建立有效的水蒸气定量模型。

3、由于质谱仪采用的是内部归一法，如果不能测量水蒸气，则导致被测样气中水蒸气浓度值被等比例均摊到其他组分，影响测量准确性。