[发明专利]紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法有效

专利信息
申请号: 201210376564.6 申请日: 2012-09-29
公开(公告)号: CN102879405A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 裴世铀;李波;温晔;杨铁成;张梁;孙继忠 申请(专利权)人: 肇庆中导光电设备有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 林火城
地址: 526238 广东省肇庆市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 紧凑型 检测 以及 应用 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及自动化光学检测设备领域,尤其涉及一种检测台以及应用该检测台的检测方法。

背景技术

通常,平板玻璃、触摸屏、导光板或液晶面板等器件在制造中需要经过表面结构质量检测,通过光学检测判定元器件表面结构是否存有缺陷。在光学检测过程中,一般先通过第一光学检测仪对元件表面快速地进行初检,以判断是否存在缺陷,初检后再通过第二光学检测仪对初检后的元件表面慢速地进行复检,以检查出具体的缺陷,如线路的短路、断路、错位等缺陷。

现有的检测台如图5所示,检测台包括运载平台11、支架12,设置在支架12一侧的第一光学检测仪13,设置在支架12另一侧的第二光学检测仪14。检测一待测物件如平板显示器15时,平板显示器15先放置在设有第一光学检测仪13一侧的运载平台11上,然后平板显示器15在推动或带动作用下,在运载平台11上朝具有第二光学检测仪14的另一侧运动,即第一方向运动,同时第一光学检测仪13在垂直第一方向的第二方向运动,如此第一光学检测仪13实现对平板显示器15表面的初检,初检后的平板显示器15表面进入到有第二光学检测仪14的另一侧,第二光学检测仪14在第二方向运动,实现对平板显示器15表面的复检。

然在随着待测物件如平板显示器尺寸的增大,如物件的长度为L,第一光学检测仪和第二光学检测仪在第一方向上的距离为D,应用这样的布局方式,运载平台的长度至少应为2L+D的尺寸长度,如此,运载平台的尺寸会很大,从而会加大自动化光学检测设备的成本。

发明内容

鉴于以上所述,本发明有必要提供一种可减小运载平台尺寸、降低成本的检测台。

另外,有必要提供一种应用该检测台的检测方法。

一种检测台,用于检测待测物件,包括运载平台、至少一支架,所述每一支架上设有第一光学检测仪和/或第二光学检测仪,所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件,所述支架设在运载平台上,至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第一光学检测仪,至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第二光学检测仪,所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动,所述第一方向与第二方向形成预定角度,所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪对待测物体分段检测。

其中,所述第一光学检测仪为低倍显微镜,用以快速扫描待测物件以检测待测物件的缺陷位置,所述第二光学检测为高倍显微镜,以对所述缺陷位置高倍显示。

其中,所述第一光学检测仪或第二光学检测仪的数量至少为二,所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将待测物体分成若干段,所述待测物体为第一光学检测仪或第二光学检测仪分段同时测量。

其中,第一光学检测仪或第二光学检测仪排列成两排,所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将检测台分成第一段及第二段。

其中,所述第一段、第二段、所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离均为待测物件长度的一半。

其中,所述待测物件的长度为L,第一段的长度L1在L/2到L之间,第二段的的长度L2在L/2到L之间,所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离D小于L。

其中,所述待测物件的长度为L,所述第一段的长度为L,所述第二段的长度为L/2,所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离为L/2。

一种检测台,用于检测待测物件,包括运载平台、支架、第一光学检测仪、以及第二光学检测仪,所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件,所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排并设于所述支架上,所述两排第一光学检测仪和/或第二光学检测仪将运载平台分成第一段、第二段及第三段,所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动,所述第一方向与第二方向形成预定角度,并且所述第一段的长度为L1,第二段的长度为D,第三段的长度为L2,所述待测物的长度为L,使得所述L<=L1+L2<2L,0<D<L。

一种使用上述检测台的检测方法,包括以下步骤:

将待测物件置入运载平台的一端;

使待测物件在第一方向运动,同时启动第一光学检测仪,第一光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动,与待测物件在第一方向运动从而实现对待测物件表面的初检;

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