[发明专利]紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法

权利要求书

1.一种紧凑型的检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、至少一支架，所述每一支架上设有第一光学检测仪和/或第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，所述支架设在运载平台上，其特征在于：至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第一光学检测仪，至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第二光学检测仪，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪对待测物体分段检测。

2.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：所述第一光学检测仪为低倍显微镜，用以快速扫描待测物件以检测待测物件的缺陷位置，所述第二光学检测为高倍显微镜，以对所述缺陷位置高倍显示。

3.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：所述第一光学检测仪或第二光学检测仪的数量至少为二，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪或第二光学检测仪分段同时测量。

4.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：第一光学检测仪或第二光学检测仪排列成两排，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将检测台分成第一段及第二段。

5.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述第一段、第二段、所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离均为待测物件长度的一半。

6.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述待测物件的长度为L，第一段的长度L1在L/2到L之间，第二段的的长度L2在L/2到L之间，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离D小于L。

7.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述待测物件的长度为L，所述第一段的长度为L，所述第二段的长度为L/2，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离为L/2。

8.一种紧凑型的检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、支架、第一光学检测仪、以及第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，其特征在于：所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排并设于所述支架上，所述两排第一光学检测仪和/或第二光学检测仪将运载平台分成第一段、第二段及第三段，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，并且所述第一段的长度为L1，第二段的长度为D，第三段的长度为L2，所述待测物的长度为L，使得所述L<＝L1+L2<2L，0<D<L。

9.一种权利要求1-8任意一项所述检测台的检测方法，包括以下步骤：

将待测物件置入运载平台的一端；

使待测物件在第一方向运动，同时启动第一光学检测仪，第一光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动从而实现对待测物件表面的初检；

待待测物件表面初检完成，移出在运载平台上方的第一光学检测仪并且开启第二光学检测仪，使待测物件在第一方向运动，第二光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动而实现对待测物件表面的复检。

10.根据权利要求9所述的检测台的检测方法，其特征在于：所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排或多排设于所述支架上并将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分段同时或交替检测。