[发明专利]蓝宝石单晶炉的称重机构有效
申请号: | 201210361792.6 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN102851732A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 李荣林;闫杰;毛洪英;姜宏伟;毛瑞川;茅旭凌 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B15/28;C30B29/20 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 程化铭 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 单晶炉 称重 机构 | ||
1.一种用于蓝宝石单晶炉的称重机构,其特征在于:包括称重支撑底板、称重辅助支柱、三个称重支点、两个称重传感器、称重负载板、称重轴承座、承载旋转轴,其中:
a)称重负载板配有同心设置的称重轴承座,称重轴承座通过螺栓与称重负载板固定连接,称重负载板的下表面设有三个支撑槽口,它们均布在称重负载板的同心圆周上,承载旋转轴穿过称重轴承座,其上端通过调心滚子轴承下端通过滚针轴承定位于称重轴承座中;
b) 称重支撑底板中心设有贯穿孔,贯穿孔周边均匀分布一个称重辅助支柱和两个称重传感器,它们通过螺栓固定安装在称重支撑底板上,两个称重传感器的重力量程相差9-11倍,称重辅助支柱和两个称重传感器均配有称重支点;
c)安装在称重负载板上的承载旋转轴穿过称重支撑底板中心的贯穿孔,设在称重支撑底板上的三个称重支点分别与称重负载板下表面的三个均布的支撑槽口配合接触。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉的称重机构,其特征在于:称重支撑底板、称重辅助支柱、三个称重支点、两个称重传感器、称重负载板、称重轴承座、承载旋转轴均采用不锈钢材料制作。
3.根据权利要求1或2所述的蓝宝石单晶炉的称重机构,其特征在于:所述的称重支点通过螺杆连接,螺杆上均配有高度调节螺母,通过调节螺母,改变各称重支点高度,使称重负载板处于水平位置。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉的称重机构,其特征在于:一个称重传感器的重力量程为50N,另一个称重传感器的重力量程为500N,重力量程为50N以及称重辅助支柱上配有相同的小量程称重支点,重力量程为500N上配有大量程称重支点,承载旋转轴下端悬挂蓝宝石单晶锭的最大重力负载≤900N。
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