[发明专利]用于制造硅块的装置和方法有效

专利信息
申请号: 201210340060.9 申请日: 2012-09-13
公开(公告)号: CN102995128A 公开(公告)日: 2013-03-27
发明(设计)人: B·弗雷登伯格;S·格吕茨纳;M·迪特里希;K·达德兹斯;A·克劳泽;B·格吕迪格-温德洛克;D·诺尔特;M·特莱姆帕;C·赖曼;J·弗里德里希 申请(专利权)人: 太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B11/02;C30B28/06;H01L31/18
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 吴鹏;马江立
地址: 德国萨*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 制造 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制造用于光伏应用的硅块(30)的装置(1),包括:

a.用于接收硅熔体(3)的容器(2),所述容器(2)带有

i.基壁(5);和

ii.至少一个侧壁(6),

b.用于减少杂质从所述容器(2)的所述壁(5,6)中的至少一个扩散到所述硅熔体(3)和所述硅块(30)中的装置,

c.其中,所述用于减少杂质扩散的装置包括至少一个覆盖元件(4;4a),以至少部分地覆盖所述容器(1)的所述壁(5,6)中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述至少一个覆盖元件作为用于插入所述容器(2)中的插入元件配置,所述插入元件包括插板(4;4a)。

3.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述至少一个覆盖元件作为插板(4;4a)和插箔的群组中的一者配置。

4.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)以这样的方式配置,即至少所述容器(2)的所述基壁(5)能够被所述覆盖元件(4;4a)覆盖至少90%。

5.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4)以这样的方式配置,即至少所述容器(2)的所述侧壁(5)能够被所述覆盖元件(4)覆盖至少90%。

6.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由具有高于硅的熔点的熔点的材料制成。

7.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的至少0.5倍。

8.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的最多0.3倍。

9.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的最多0.2倍。

10.根据权利要求7所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件同时是用于所述硅熔体的结晶的核模板。

11.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有从耐火金属、其化合物以及二氧化硅(SiO2)、碳化硅(SiC)和氮化硅(Si3N4)及其化合物、以及氧化铝(Al2O3)的群组中选择的至少一部分。

12.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4)具有按体积计至少90%的密度。

13.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)由非晶态二氧化硅(SiO2)制成。

14.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.001mm至10mm的范围内的厚度。

15.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.05mm至5mm的范围内的厚度。

16.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.4mm至1mm的范围内的厚度。

17.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有包含来自所述四元系Si-C-O-N和所述双元系B-N中的至少一者的至少一种物质的涂层。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会,未经太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210340060.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top