[发明专利]用于制造硅块的装置和方法有效
申请号: | 201210340060.9 | 申请日: | 2012-09-13 |
公开(公告)号: | CN102995128A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | B·弗雷登伯格;S·格吕茨纳;M·迪特里希;K·达德兹斯;A·克劳泽;B·格吕迪格-温德洛克;D·诺尔特;M·特莱姆帕;C·赖曼;J·弗里德里希 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B11/02;C30B28/06;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 吴鹏;马江立 |
地址: | 德国萨*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 装置 方法 | ||
1.一种用于制造用于光伏应用的硅块(30)的装置(1),包括:
a.用于接收硅熔体(3)的容器(2),所述容器(2)带有
i.基壁(5);和
ii.至少一个侧壁(6),
b.用于减少杂质从所述容器(2)的所述壁(5,6)中的至少一个扩散到所述硅熔体(3)和所述硅块(30)中的装置,
c.其中,所述用于减少杂质扩散的装置包括至少一个覆盖元件(4;4a),以至少部分地覆盖所述容器(1)的所述壁(5,6)中的至少一个。
2.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述至少一个覆盖元件作为用于插入所述容器(2)中的插入元件配置,所述插入元件包括插板(4;4a)。
3.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述至少一个覆盖元件作为插板(4;4a)和插箔的群组中的一者配置。
4.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)以这样的方式配置,即至少所述容器(2)的所述基壁(5)能够被所述覆盖元件(4;4a)覆盖至少90%。
5.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4)以这样的方式配置,即至少所述容器(2)的所述侧壁(5)能够被所述覆盖元件(4)覆盖至少90%。
6.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由具有高于硅的熔点的熔点的材料制成。
7.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的至少0.5倍。
8.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的最多0.3倍。
9.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)至少部分地由相对于硅具有扩散常数的材料制成,在20°C至1500°C的范围内的温度下,所述扩散常数是过渡金属钛、钒、铬、锰、铁、钴和镍中的一者在相应温度下相对于硅的扩散常数的最多0.2倍。
10.根据权利要求7所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件同时是用于所述硅熔体的结晶的核模板。
11.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有从耐火金属、其化合物以及二氧化硅(SiO2)、碳化硅(SiC)和氮化硅(Si3N4)及其化合物、以及氧化铝(Al2O3)的群组中选择的至少一部分。
12.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4)具有按体积计至少90%的密度。
13.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)由非晶态二氧化硅(SiO2)制成。
14.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.001mm至10mm的范围内的厚度。
15.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.05mm至5mm的范围内的厚度。
16.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有在从0.4mm至1mm的范围内的厚度。
17.根据权利要求1所述的装置(1),其特征在于,所述覆盖元件(4;4a)具有包含来自所述四元系Si-C-O-N和所述双元系B-N中的至少一者的至少一种物质的涂层。
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