[发明专利]一种电化学抛光/电镀装置及方法

权利要求书

1.一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于，包括：

一夹具，固持一晶圆，具有设置于所述夹具周边处的一外电极及一内电极，所述外电极与所述内电极之间电绝缘；

一喷嘴，向固持在所述夹具上的晶圆喷射电解液；

一电源，所述电源的一电极与所述喷嘴电连接；

一切换电路，具有一活动接点、一第一固定接点及一第二固定接点，所述活动接点与所述电源的另一电极电连接，所述第一固定接点与所述夹具的内电极电连接，所述第二固定接点与所述夹具的外电极电连接，所述活动接点能够在与所述第一固定接点电性连接和与所述第二固定接点电性连接之间切换；及

一运动控制器，控制所述夹具移动并检测所述夹具相对所述喷嘴移动的位置坐标，并将该位置坐标与一设定坐标值比较，根据比较结果发出控制指令控制所述活动接点与所述第一固定接点电性连接或与所述第二固定接点电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述夹具还具有一绝缘环，所述绝缘环设置在所述外电极及所述内电极之间。

3.根据权利要求2所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述外电极、绝缘环及内电极为同心圆环且环绕着所述晶圆，所述外电极包围着所述绝缘环和所述内电极。

4.根据权利要求1所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述夹具为一真空夹具。

5.根据权利要求1所述的一种电化学抛光/电镀装置，还进一步包括一马达，所述运动控制器控制所述马达，所述马达驱动所述夹具移动。

6.根据权利要求1所述的一种电化学抛光/电镀装置，还进一步包括一驱动电路，所述驱动电路接收所述运动控制器发出的控制指令后控制所述活动接点与所述第一固定接点电性连接或与所述第二固定接点电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述运动控制器检测的夹具的位置坐标小于设定坐标值时，所述运动控制器发出第一控制指令，所述驱动电路接收所述运动控制器发出的第一控制指令后控制所述切换电路的活动接点，使所述活动接点与所述第一固定接点电性连接，所述夹具的内电极与所述电源电导通。

8.根据权利要求6所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述运动控制器检测的夹具的位置坐标大于或等于设定坐标值时，所述运动控制器发出第二控制指令，所述驱动电路接收所述运动控制器发出的第二控制指令后控制所述切换电路的活动接点，使所述活动接点与所述第二固定接点电性连接，所述夹具的外电极与所述电源电导通。

9.根据权利要求1所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述切换电路为一继电器。

10.一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于，包括：

一夹具，固持一晶圆，具有设置于所述夹具周边处的一外电极及一内电极，所述外电极与所述内电极之间电绝缘；

一喷嘴，向固持在所述夹具上的晶圆喷射电解液；

一电源，所述电源的一电极与所述喷嘴电连接，所述电源的另一电极与所述夹具的外电极电连接；

一切换电路，具有一活动接点及一固定接点，所述活动接点与所述电源的另一电极电连接，所述固定接点与所述夹具的内电极电连接，所述活动接点能够在与所述固定接点电性连接和断开之间切换；及

一运动控制器，控制所述夹具移动并检测所述夹具相对所述喷嘴移动的位置坐标，并将该位置坐标与一设定坐标值比较，根据比较结果发出控制指令控制所述活动接点与所述固定接点电性连接或断开。

11.根据权利要求10所述的一种电化学抛光/电镀装置，还进一步包括一驱动电路，所述驱动电路接收所述运动控制器发出的控制指令后控制所述活动接点与所述固定接点电性连接或断开。

12.根据权利要求11所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述运动控制器检测的夹具的位置坐标小于设定坐标值时，所述运动控制器发出第一控制指令，所述驱动电路接收所述运动控制器发出的第一控制指令后控制所述切换电路的活动接点，使所述活动接点与所述固定接点电性连接，所述夹具的内电极与所述电源电导通。

13.根据权利要求12所述的一种电化学抛光/电镀装置，其特征在于：所述内电极与所述外电极和所述电源之间并联导通。