[发明专利]图案形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在基板表面上涂敷包含用于形成图案的材料的涂敷液来形成规定的图案的图案形成装置。

背景技术

作为在基板上形成规定的图案的技术，具有在基板上涂敷包含用于形成图案的材料的涂敷液并使其固化的技术，至今为止已经提出了很多用于实现该技术的方案。例如专利文献1（日本特开2007-222770号公报）公开了一种能够适用于这种图案形成技术的喷嘴的结构（例如图2）。在该文献所记载的技术中，通过将设置有形成涂敷液的流通路径的凹部或槽的多个部件重合来构成喷嘴前端部，由此能够分解喷嘴，并且通过从外部夹紧并保持这些部件来防止液体从缝隙泄漏。

但是，近年来，越来越追求图案的高高宽比化及图案形成的高速化。即，追求用更短的时间形成图案高度对于宽度的比（高宽比（aspect ratio））高的图案。为此，需要能够向高粘度的涂敷液施加比至今为止更高的压力（例如1MPa以上）来挤压出该高粘度的涂覆液的技术。在上述现有技术的喷嘴构造中，有时不能够充分满足这种要求。具体来说，高的内部压力会导致喷嘴部件略微变形，毛细管现象会导致液体从部件的缝隙间渗出，由此会产生压力损失。因此，有时不能够对从喷出口喷出的涂敷液的剖面形状或喷出量等适当地进行喷出控制。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并适当地进行喷出控制。

本发明的图案形成装置，为了达成上述目的，其特征在于，具有：基板保持装置，其用于将基板保持为水平姿势，喷出头部，其与所述基板保持装置所保持的所述基板的表面相向配置，且用于喷出包含用于形成图案的材料的涂敷液，移动装置，其通过使所述基板保持装置所保持的所述基板与所述喷出头部进行相对移动，来使所述喷出头部沿着所述基板的表面在规定的扫描移动方向上进行扫描移动；在所述喷出头部上设置有内部积存所述涂敷液的积液部、喷出所述涂敷液的喷出口、从所述积液部向所述喷出口供给所述涂敷液的涂敷液供给路径，在所述喷出头部的下部设置有喷出口配设面和与所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，喷出口配设面在所述扫描移动方向上的所述基板相向面的后方侧端部与所述基板相向面相连接，而且离该后方侧端部越远则离所述基板表面越远；所述喷出口设置在所述喷出口配设面上的与所述基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，所述涂敷液供给路径的侧壁面及所述喷出口一体形成为一个构件。

在这样构成的发明中，从积液部到喷出口的涂敷液供给路径及喷出口一体形成为一个构件。由此，不会产生在多个部件的接缝上渗出涂敷液的问题。因此，能够通过对涂敷液施加从积液部向喷出口的高的压力来压送涂敷液，另外能够抑制由压力损失而引起的喷出不稳定的问题。

另外，在喷出头部的下部的喷出口配设面上设置的喷出口形成在与基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，该基板相向面与喷出口配设面相连接。因此，在喷出头部与基板表面相向配置的状态下，从喷出口的下端到基板表面的距离与从基板相向面到基板表面的距离大致相同。另外，通过使基板相向面接近基板表面，能够使喷出口的下端非常接近基板表面。因此，从喷出口喷出的涂敷液不经过残留在喷出口周边或者朝向基板落下的过程而立即与基板表面接触，并通过与基板表面的附着力能够停留在与基板表面接触的位置。因此，涂敷液能够流畅地从喷出头部内部向基板表面转移，且易于控制喷出的涂敷液的剖面形状。

根据上述结构及其作用效果，在本发明中，能够用高的压力挤压出涂敷液，并且一边适当地进行喷出控制一边涂敷涂敷液。因此，能够高速形成剖面形状和尺寸被适当地控制后的图案。

在本发明中，例如，涂敷液供给路径的侧壁面、基板相向面及喷出口配设面可以一体形成。这样，由于成为一体的上述各部分为包围涂敷液供给路径及喷出口的结构，所以能够形成为耐高压的构造。

进而，例如，还可以使喷出头部的内部形成为筒状的中空部，该中空部构成积液部，该中空部的壁面与涂敷液供给路径的侧壁面、基板相向面及喷出口配设面一体形成。这样，成为还包括构成积液部的中空部的壁面的一体结构。因此，由于涂敷液从积液部流到基板表面的过程中部件上没有接缝，进而能够更可靠地达到上述效果。

在此，例如，还可以使喷出口与基板相向面之间的距离设为0，即，可以将喷出口的边缘部的一部分与基板相向面的后方侧端部一致。由此，能够使从喷出口喷出的涂敷液到达基板表面的时间几乎为0。因此，能够在基板表面上涂敷保留刚从喷出口喷出的剖面形状的涂敷液。