[发明专利]一种氧化镍基记忆存储薄膜微细图形的制备方法

权利要求书

1.一种氧化镍基记忆存储薄膜微细图形的制备方法，其特征在于，按照以下步骤实施：

步骤1．具有感光性氧化镍基凝胶膜的制备

将醋酸镍加入到乙二醇甲醚中，其中镍离子的摩尔浓度为：0.5-0.6mol/L，用磁力搅拌器搅拌至醋酸镍充分溶解在乙二醇甲醚中，再加入化学修饰剂继续搅拌，直至混合液澄清，得到绿色透明的氧化镍溶胶，静置20~24小时后待用；

步骤2．通过浸渍提拉法制备得到氧化镍基凝胶膜

将硅基板在稀硝酸中清洗，去除其表面的氧化层，随后将步骤1制备好的溶胶利用浸渍提拉法在硅基板上制备一层氧化镍基凝胶膜；

步骤3．氧化镍基凝胶膜微细图形的制备

a.特殊图形的微细图形的制备

若微细图形为特殊预设图形，则将步骤2制备的氧化镍基凝胶膜干燥5-10分钟，然后在氧化镍基凝胶膜上固定掩模板，之后再以紫外灯为曝光光源，将固定了掩模板的氧化镍基凝胶膜辐照10-15分钟，随后在溶洗剂中溶洗，即可获得氧化镍基凝胶膜的微细图形；

b.光栅图形的制备

若微细图形为光栅图形，将步骤2制备的氧化镍基凝胶膜用氪离子激光器进行照射12-18分钟，随后在乙醇中溶洗1分钟，得到光栅图形，即氧化镍基凝胶膜的微细图形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1中所述的化学修饰剂为苯酰丙酮，且醋酸镍与苯酰丙酮的摩尔比为1：0.5~0.7。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中所述稀硝酸体积浓度为20%。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3的a步骤中溶洗剂为乙醇和正丁醇按照体积比为1~1.5：1配置的混合溶液。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3的b步骤中所述激光束为两束满足干涉条件的平行光，且两束平行光与氧化镍基凝胶膜的夹角为9.352°。