[发明专利]真空室的真空度控制机构、包括该机构的接合装置、真空室及接合装置的真空度控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如利用热压接将板状或箔状的贴合用基材进行接合时所使用的真空室的真空度控制机构、包括该真空室的真空度控制机构的接合装置、真空室的真空度控制方法、以及接合装置的真空度控制方法。 

背景技术

以往，已提出有涉及即使简易、低成本，也能在保护真空泵的情况下以节电的方式对真空室内的真空度进行控制的控制机构和控制方法的技术。 

该控制机构是对实施层叠成形的真空室内的真空度进行控制的控制机构，该控制机构包括控制装置，该控制装置根据对测量真空室内的真空度的真空传感器的检测值所设定的规定幅值的滞后，使与真空室相连接的真空泵起动、停止，从而对真空室内的真空度进行控制（参照专利文献1）。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本专利特开2009―298007号公报 

发明内容

然而，上述控制机构是通过开启/关闭对真空泵、气体供给装置进行控制的阀来进行动作的类型，因而，在开启/关闭阀时真空压力发生较大的变动，因此，存在真空压力控制的精度较差的问题。 

为此，本发明的目的在于提供能以简易的结构提高真空压力控制精度的真空室的真空度控制机构、包括该真空室的真空度控制机构的接合装置、 真空室的真空度控制方法、以及接合装置的真空度控制方法。 

第一发明是用于控制真空室的真空压力值的真空室的真空度控制机构，其特征在于，包括：用于对所述真空室抽真空的真空路径；将气体导入所述真空室的流量调节阀；以及对所述流量调节阀的开闭率进行控制的控制部，所述控制部根据所述真空室的真空压力值对所述流量调节阀的开闭率进行控制，将所述真空室的真空压力值调整为目标真空压力值。 

在此情况下，优选所述流量调节阀将惰性气体导入所述真空室。 

在此情况下，优选所述流量调节阀是质量流量控制器，所述控制部是PID控制器。 

第二发明是接合装置，该接合装置具有加压机构、以及被所述加压机构施加加压力的热盘部，所述热盘部在所述加压力的作用方向上配置有多个，使在所述加压力的作用方向上相邻的所述热盘部彼此相互层叠，从而在所述热盘部之间形成真空室，在所述真空室内将贴合用基材彼此热压接以使其进行接合，所述接合装置的特征在于，包括：用于对所述真空室抽真空的真空路径；将气体导入所述真空室的流量调节阀；以及对所述流量调节阀的开闭率进行控制的控制部，所述控制部根据所述真空室的真空压力值对所述流量调节阀的开闭率进行控制，将所述真空室的真空压力值调整为目标真空压力值。 

在此情况下，优选所述流量调节阀将惰性气体导入所述真空室。 

在此情况下，优选形成有多个所述真空室，形成有将所述真空室彼此之间进行连通的连通路，多个所述真空室同时抽真空。 

在此情况下，优选所述流量调节阀是质量流量控制器，所述控制部是PID控制器。 

第三发明是用于控制真空室的真空压力值的真空室的真空度控制方法，使用真空路径及流量调节阀，所述真空路径用于对所述真空室抽真空，所述流量调节阀将气体导入所述真空室，在对所述真空室抽真空的状态下，通过增大所述流量调节阀的开闭率，使导入所述真空室的气体流量增加，或通过减小所述流量调节阀的开闭率，使导入所述真空室的气体流量减少， 通过改变所述流量调节阀的开闭率来控制真空室的真空压力值。 

在此情况下，优选所述流量调节阀将惰性气体导入所述真空室。 

第四发明是接合装置的真空度控制方法，所述接合装置具有加压机构、以及被所述加压机构施加加压力的热盘部，所述热盘部在所述加压力的作用方向上配置有多个，使在所述加压力的作用方向上相邻的所述热盘部彼此相互层叠，从而在所述热盘部之间形成真空室，在所述真空室内将贴合用基材彼此热压接以使其进行接合，所述接合装置的真空度控制方法的特征在于，使用真空路径、流量调节阀、及控制部，所述真空路径用于对所述真空室抽真空，所述流量调节阀将气体导入所述真空室，所述控制部对所述流量调节阀的开闭率进行控制，所述控制部根据所述真空室的真空压力值对所述流量调节阀的开闭率进行控制，将所述真空室的真空压力值调整为目标真空压力值。 

在此情况下，优选所述流量调节阀将惰性气体导入所述真空室。 

根据本发明，能以简易的结构提高真空室的真空压力控制的精度。 

附图说明

图1是包括本发明一实施方式所涉及的真空室的真空度控制机构的接合装置在热盘部重叠的状态下的结构图。