[发明专利]悬臂式高频探针卡有效
申请号: | 201210123246.9 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN102759644A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 顾伟正;谢昭平;何志浩;郑雅允;赖俊良 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 悬臂 高频 探针 | ||
技术领域
本发明与探针卡有关,更具体是指一种悬臂式高频探针卡。
背景技术
图1与图2所示为一种已知悬臂式探针卡,公开了一PCB电路板1的下表面设置有多个信号接点2、接地接点3及一绝缘材料制作而成的支撑物4。探针卡的信号针5为支撑物4所固定,且其一端电性连接该信号接点2,另一端延伸出支撑物4。为提高信号针5的信号传输效能,已知方式是在电路板1与支撑物4之间加设一漆包线6,且漆包线6通过一绝缘套管7而与信号针5固结,其中漆包线6的导线6a一端连接至接地接点3,另一端延伸到支撑物4中或者延伸通过支撑物4且接近信号针5的针尖,该端并电性连接至接地电位(图未示),借以对信号针5提供优选的阻抗匹配效果。
然而,上述结构中的漆包线6与信号针5之间未使用任何接着剂,使得漆包线6与信号针5彼此间的间隔距离并非每一处均相同,此一情形将影响到信号针5的传输效能,探究其原因即:信号针5在安装摆放的过程中不可避免的会有弯曲情形,而前述情形在漆包线6过长的情况下将更为显著并且严重影响信号针5的传输效能。
发明内容
有鉴于此,本发明的主要目的在于提供一种悬臂式高频探针卡,具有良好的阻抗匹配,并提升电性传输能力。
为了达成上述目的,本发明所提供的悬臂式高频探针卡包含一电路板、至少一高频探针与至少一接地针。其中,电路板的一表面设有多个信号接点、接地接点及一支撑物;高频探针包括一信号针、一金属膜套管与至少一导体,其中,信号针一端与信号接点电性连接,另一端延伸穿出该支撑物;金属膜套管套设于信号针上,且位于电路板与支撑物之间,该金属膜套管具有一绝缘内层包覆信号针,以及一导电表层与接地接点电性连接;导体为该支撑物所固定,且邻设该信号针并与信号针电性隔离,导体一端延伸穿出支撑物而与该导电表层电性连接;接地针为该支撑物所固定并与该导体电性连接,该接地针一端电性连接至接地接点,另一端延伸穿出该支撑物。
本发明再提供一种悬臂式高频探针卡包含一电路板、至少一高频探针与至少一接地针。其中,电路板的一表面设有多个信号接点、接地接点及一支撑物;高频探针包括一信号针与一金属膜套管,信号针一端与信号接点电性连接,另一端延伸穿出该支撑物;金属膜套管套设于信号针上,且具有一绝缘内层包覆信号针与一导电表层,该导电表层一端与接地接点电性连接,另一端为该支撑物包覆;接地针为支撑物所固定并与该导电表层电性连接,该接地针一端电性连接至接地接点,另一端延伸穿出该支撑物。
依据上述构思,本发明的至少一导体可为金属线或是铜箔。
在一实施例中,本发明包括有一导电件为该支撑物包覆,且该导电件电性连接该接地针与金属线。
在一实施例中,接地针一端为该支撑物所包覆;导电件为一铜箔,铜箔上摆放有该接地针与金属线,且铜箔与接地接点电性连接。
在一实施例中,还包括有一内部焊垫,用于固定位于铜箔上的接地针与金属线。
在一实施例中,该接地针一端延伸穿出该支撑物并接触电路板的接地接点。
在一实施例中,本发明包括有一外部焊垫用于电性连接该金属膜套管的导电表层与该金属线穿出支撑物的该端。
在一实施例中,高频探针的至少一金属线包括有多条金属线间隔排列,以及一导电件位于支撑物外部,该导电件具有一支撑面供这些穿出支撑物的金属线一端摆放,该外部焊垫将这些金属线固定于导电件上。
在一实施例中,高频探针的金属线外部包覆一绝缘套管。
在一实施例中,本发明包括有至少一内部焊垫与一铜箔,铜箔具有多个开口;该至少一高频探针包括有一上位高频探针与一下位高频探针分别设置于铜箔的上、下方,且各高频探针的金属线通过铜箔的开口;该至少一接地针设置于铜箔上、下方的其中一侧;该内部焊垫用于固定并电性连接该高频探针的金属线与接地针。
附图说明
图1为已知悬臂式探针卡的侧视图;
图2为图1的2-2方向剖视图;
图3为本发明第一优选实施例的悬臂式高频探针卡侧视图;
图4为图3结构的平面及局部剖面示意图;
图5为图4的5-5方向剖视图;
图6为图4的6-6方向剖视图;
图7为本发明第二优选实施例悬臂式高频探针卡的平面及局部剖面示意图;
图8为本发明第三优选实施例悬臂式高频探针卡的平面及局部剖面示意图;
图9为本发明第四优选实施例悬臂式高频探针卡的平面及局部剖面示意图;
图10为本发明第五优选实施例悬臂式高频探针卡的平面及局部剖面示意图;
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