[发明专利]一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液及制备方法

权利要求书

1.一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液，其特征在于，包括如下组分：碳酸盐0-5%，有机醇5-10%，水85-90%，以重量百分比计；

所述碳酸盐为碳酸钠或碳酸钾，所述有机醇为三乙醇胺或丙三醇，所述水为去离子水。

2.根据权利要求1所述溶液制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的方法，其特征在于，把硅片置入所述的溶液中，以硅片为阴极，以惰性电极材料为阳极，在400-800V电压下，处理1-5分钟，取出硅片，即得到双面纳米多孔硅薄膜硅片。

3.根据权利要求2所述的制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的方法，其特征在于，

所述惰性电极材料为石墨。