[发明专利]镜头及镜头同轴度的调整方法

说明书

技术领域

本发明涉及微电子装备，尤其涉及一种镜头及镜头同轴度的调整方法。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应地，对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了提高对硅片标记的对准精度，对对准子系统采用的镜头的精度提出了越来越高的要求，而镜头的同轴度是影响镜头精度的主要影响因素之一。

目前镜头同轴度一般通过以下两种方式实现：第一种方式完全依靠加工精度保证镜头的同轴度要求，这种方式的缺点是，由于加工能力的限制，往往难以达到较高的同轴度精度要求，即使达到同轴度要求，也是不经济的；第二种方式通过设计制作特定的工装保证镜头的同轴度要求，这种方式的缺点是，设计制作特定的工装需要额外增加成本，而且工装的装调也需要花费一定的人力、物力。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镜头及镜头同轴度的调整方法，利用偏心机构调整镜头同轴度，成本低、精度高。

为了达到上述的目的，本发明提供一种镜头，包括第一镜头固定座，设置于所述第一镜头固定座内的镜头后组，第二镜头固定座，以及设置于所述第二镜头固定座内的镜头前组，所述镜头还包括偏心机构和隔圈；所述隔圈设置在所述第一镜头固定座内，且位于所述镜头后组的一端；所述偏心机构位于镜头前组与镜头后组之间，包括转接圈和旋转体，所述旋转体与所述转接圈旋转连接；所述转接圈与所述第一镜头固定座连接，且与所述隔圈接触，所述旋转体与所述第二镜头固定座连接。

上述镜头，其中，所述转接圈一端的端面上设有刻度线，所述旋转体一端的端面上设有零刻度线。

上述镜头，其中，所述转接圈上的刻度线等间隔设置，所述转接圈上的刻度线包括零刻度线。

上述镜头，其中，所述转接圈与第一镜头固定座，所述旋转体与所述第二镜头固定座均为螺钉连接。

上述镜头，其中，所述旋转体的外侧壁上设有凸起。

本发明提供的另一技术方案是一种镜头同轴度的调整方法，包括以下步骤：测出镜头前组的光轴相对其机械轴的偏移量、镜头后组的光轴相对其机械轴的偏移量、以及镜头前组的光轴相对镜头后组的光轴的偏移方向；根据上述步骤测得的量求取镜头前组的光轴与镜头后组的光轴之间的距离，并根据该距离调整偏心机构的偏心量，再固定旋转体与转接圈之间的相对位置；将镜头后组、偏心机构和镜头前组组装；利用同轴度检测装置，通过所述偏心机构调整所述镜头前组与镜头后组之间的同轴度，再固定所述偏心机构与所述镜头后组之间的相对位置以及所述偏心机构与所述镜头前组之间的相对位置。

上述镜头同轴度的调整方法，其中，所述调整偏心机构的偏心量具体包括以下步骤：计算所述偏心机构的偏心量，根据所述偏心机构的偏心量计算所述偏心机构的旋转体的零刻度线与转接圈的零刻度线之间的夹角；根据所述偏心机构的旋转体的零刻度线与转接圈的零刻度线之间的夹角旋转所述旋转体，使所述旋转体的零刻度线与所述转接圈上的相应刻度线对齐。

上述镜头同轴度的调整方法，其中，所述利用同轴度检测装置，通过偏心机构调整镜头前组与镜头后组之间的同轴度具体包括以下步骤：调整好所述同轴度检测装置与所述镜头之间的相对位置，并将所述同轴度检测装置与所述镜头后组锁紧固定；用一只手握住所述镜头前组，保证所述镜头前组不绕轴向旋转，另一只手旋转所述旋转体，同时通过所述同轴度检测装置观测镜头前组光轴相对镜头后组光轴的偏移量的变化，直至所述镜头前组与所述镜头后组之间的同轴度达到设计要求，停止旋转所述旋转体。

本发明的镜头及镜头同轴度的调整方法，在镜头中增设一偏心机构，通过偏心机构调整镜头前组和镜头后组的同轴度，可使镜头整体的同轴度精度高于镜头中单个镜组的同轴度精度，这样既可以降低对加工精度的要求，又不需要制作特定的工装，是一种成本低、精度高的实现方式。

附图说明

本发明的镜头及镜头同轴度的调整方法由以下的实施例及附图给出。

图1是本发明实施例的镜头的剖视图。

图2是本发明实施例的偏心机构的立体图。

图3是本发明实施例的偏心机构的剖视图。

图4是本发明实施例的偏心机构的侧视图。

图5是图1中镜头后组的剖视图。

图6是图1中镜头前组的剖视图。

图7是本发明中求取镜头前组的光轴与镜头后组的光轴之间距离的示意图。

图8是本发明镜头组装后光轴、机械轴位置关系的示意图。

图9是本发明中镜头整体同轴度检测示意图。