[发明专利]用于电极活性材料的气相沉积系统

权利要求书

1.一种用于电极活性材料的气相沉积系统，包括：

拆卷机，供应电极板；

卷绕机，卷绕所述电极板；

引导鼓，引导要被传送的所述电极板；

遮罩，成形为具有一预定宽度的圆筒，具有以规则间隔形成的多个狭缝，并在所述引导鼓下方旋转；

气相沉积源，位于所述遮罩中并喷射电极活性材料到所述电极板上；

防粘附板，形成为板形，并位于所述遮罩中所述气相沉积源下方；以及

加热器，位于所述防粘附板下方。

2.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述遮罩的所述狭缝沿所述遮罩的圆周以预定间隔形成，并且所述狭缝之间的距离等于与形成在所述电极板上的非涂覆部分相应的长度。

3.如权利要求1所述的气相沉积系统，所述遮罩的每个所述狭缝的宽度大于所述电极板的宽度。

4.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述遮罩的每个所述狭缝的宽度大于所述气相沉积源的宽度。

5.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述遮罩的宽度大于所述电极板的宽度。

6.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述防粘附板成形为板，并具有比所述遮罩的宽度大的宽度。

7.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述加热器成形为板或杆，并具有至少与所述遮罩的宽度相同的宽度。

8.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述加热器位于所述遮罩的底部外部。

9.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述加热器位于所述防粘附板下方在所述遮罩的内部底部中。

10.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述遮罩沿与所述引导鼓旋转的方向相反的方向旋转。

11.如权利要求1所述的气相沉积系统，其中所述加热器电连接到计时器，并且所述计时器控制所述加热器的操作。