[发明专利]一种薄型真空密封连接阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空连接阀装置，特别涉及一种薄型真空密封连接阀装置。

背景技术

现有用来实现真空腔体的打开和密封的装置主要是真空插板阀。传统真空插板阀连接装置(图1)，其阀体只能在腔体外安装，连接两个第一、第二腔体时，往往需要额外的第一、第二转接腔室，这种连接方式体积较大，所需部件的数量多，结构复杂。完整的传统真空插板阀连接系统一般超过20cm的长度。因此，传统真空插板阀及其真空连接方式存在下述问题：增加了额外的转接腔体，增加了部件的数量(导致其结构复杂)，增加了真空系统的体积；延长了从第一腔体到第二腔体的距离，此外这种连接只能在腔体间安装，不能在单独的一个腔体内安装。

发明内容

为了克服现有真空插板阀及其真空连接方式存在的结构复杂、体积较大以及不能同一腔室内安装密封的问题，本发明提供一种薄型真空密封连接阀装置。

本发明的目的是通过以下措施来达到：

一种薄型真空密封连接阀装置，包括：限位垫块、插板、连接板、中部带孔的底板和中部带孔的盖板；

底板、插板、盖板依次叠合设置，在底板和盖板上的孔位于插板两侧相对应设置，底板和盖板上的孔通过插板在底板和盖板间的相对滑动控制它们的连通或封闭；由于插板在底板和盖板间的相对滑动于底板和盖板间上形成一滑道；于底板和盖板间滑道的外侧设有限位垫块；限位垫块的厚度与插板的厚度相同；

在底板远离盖板一侧的表面上、中部孔的四周设有环状密封圈；于插板远离盖板一侧的表面上设有环状密封圈；

用于拖动插板的连接板固接于插板的另一端。

于底板和盖板之间有限位垫块形成的密封滑道或半密封滑道，密封滑道尺寸大于盖板和底板中心的孔径；插板与密封滑道紧密配合，可在连接板的控制下分别向遮盖孔的内侧或远离向孔的外侧移动，对应实现连接腔体的真空密封和连通。

底板和盖板间通过螺栓相固接；

所述薄型真空密封连接阀装置安装于两个所需连接腔体相连通的接口处，底板置于一连接腔体内、安装于连接腔体接口处的壁面上，底板远离盖板一侧表面与连接腔体接口处的壁面相贴接，底板与连接腔体的壁面通过在底板上的环状密封圈密封。

连接板一端固定于插板上，另一端与直线导入器连接，用于控制插板移动。

直线导入器远离连接板的一端置于所需连接腔体外。

在底板远离盖板一侧的表面上、中部孔的四周设有环状凹槽，凹槽内设有用于和连接腔体密封的O型密封圈；于插板远离盖板一侧的表面上设有环状凹槽，凹槽内设有用于和底板密封的O型密封圈。

于所述底板中部设有或装有向远离盖板一侧的凹槽，形成圆筒形底座，底板中部的孔同轴设置于圆筒形底座底面上，于圆筒形底座底面上安装分子束准直部分，分子束准直部分为圆筒形底座同轴安装准直器或者skimmer喷嘴；

在底板圆筒形底座底面上和盖板上的孔同轴设置。

所述两个所需连接腔体中的一个为束源腔室、另一个为检测室；

真空密封连接阀的外侧可以很方便的连接各种分子/离子束源装置与检测装置，束源装置只需与盖板中心的小孔同轴，即可实现束源的绝对准直。

有益效果：本发明简化了传统的高真空插板阀安装部件，厚度薄，更重要的是实现了在一个腔体内安装，此外此套装置还集成了分子束准直系统，特别适合于密封或分离分子束或离子束源腔室与检测室。

附图说明

图1是传统真空插板阀连接装置示意图。

图2是本发明薄型真空密封连接阀平面图。

图3是沿图2所示线A-A方向的截面图。

图4是本发明薄型真空连接阀密封状态截面图。

图5是本发明薄型真空连接阀开启状态截面图。

图6是本发明薄型真空连接阀在两个真空腔体连接时安装示意图。

图7是本发明薄型真空连接阀在同一腔体内的安装示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

参照图1：传统的真空插板阀连接独立的两个腔体且只能在腔体外连接，其连接装置结构是：真空插板阀12连接第一腔体8，第二腔体9，需要第一转接腔10和第二转接腔11，离子源安装在第一腔体8内，准直系统位于第二腔体9内部。离子束经过第一转接腔10，插板阀12，第二转接腔11和准直系统到第二腔体9的检测区距离至少大于20厘米。

参照图2和图3：所述薄型真空密封连接阀装置包括：中心带孔的底板1、限位垫块5、中心带孔的盖板3、插板2和连接板4。