[发明专利]一种薄型真空密封连接阀装置

权利要求书

1.一种薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

包括：限位垫块(5)、插板(2)、连接板(4)、中部带孔的底板(1)和中部带孔的盖板(3)；

底板(1)、插板(2)、盖板(3)依次叠合设置，在底板(1)和盖板(3)上的的中部孔位于插板(2)两侧相对应设置，底板(1)和盖板(3)上的孔通过插板(2)在底板(1)和盖板(3)间的相对滑动控制它们的连通或封闭；由于插板(2)在底板(1)和盖板(3)间的相对滑动于底板(1)和盖板(3)间上形成一滑道；于底板(1)和盖板(3)间滑道的外侧设有限位垫块(5)；限位垫块(5)的厚度与插板(2)的厚度相同；

在底板(1)远离盖板(3)一侧的表面上、中部孔的四周设有环状密封圈；于插板(2)远离盖板(3)一侧的表面上设有环状密封圈；

用于拖动插板(2)的连接板(4)固接于插板(2)的另一端。

2.据权利要求1所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

于底板(1)和盖板(3)之间有限位垫块(5)形成的密封滑道或半密封滑道，密封滑道尺寸大于盖板(3)和底板(1)中心的孔径；插板(2)与密封滑道紧密配合，可在连接板(4)的控制下分别向遮盖孔的内侧或远离向孔的外侧移动，对应实现连接腔体的真空密封和连通。

3.据权利要求1或2所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

底板(1)和盖板(3)间通过螺栓相固接；

所述薄型真空密封连接阀装置安装于两个所需连接腔体相连通的接口处，底板(1)置于一连接腔体内、安装于连接腔体接口处的壁面上，底板(1)远离盖板(3)一侧表面与连接腔体接口处的壁面相贴接，底板(1)与连接腔体的壁面通过在底板(1)上的环状密封圈密封。

4.据权利要求1所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

连接板(4)一端固定于插板(2)上，另一端与直线导入器(18)连接，用于控制插板(2)移动。

5.据权利要求4所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

直线导入器(18)远离连接板(4)的一端置于所需连接腔体外。

6.据权利要求1、2或4所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

在底板(1)远离盖板(3)一侧的表面上、所述中部孔的四周设有环状凹槽，凹槽内设有用于和连接腔体密封的O型密封圈；于插板(2)远离盖板(3)一侧的表面上设有环状凹槽，凹槽内设有用于和底板(1)密封的O型密封圈。

7.据权利要求1所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

于所述底板(1)中部设有或装有向远离盖板(3)一侧的凹槽，形成圆筒形底座，底板(1)的中部孔同轴设置于圆筒形底座底面上，于圆筒形底座底面上安装分子束准直部分，分子束准直部分为圆筒形底座同轴安装准直器或者skimmer喷嘴(6)；

在底板(1)圆筒形底座底面上和盖板(3)上的孔同轴设置。

8.据权利要求1、2或7所述的薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：

所述两个所需连接腔体中的一个为束源腔室、另一个为检测室；

真空密封连接阀的外侧可以很方便的连接各种分子/离子束源装置与检测装置，束源装置只需与盖板中心的小孔同轴，即可实现束源的绝对准直。