[发明专利]成像装置和成像系统

权利要求书

1.一种成像装置，包括：

成像板，具有光入射的前面、和具有包含中心的中间区域和包围中间区域的周边区域的后面；

保持板，具有被配置为从所述后面侧保持所述成像板的保持面；和

中间部件，通过被固定于所述成像板和所述保持板而被设置在所述周边区域和所述保持面之间，

其中，所述中间部件不在所述中间区域的至少一部分和从所述保持面延伸的平面上的面向所述中间区域的面向区域的至少一部分之间延伸，并且在其间形成空隙，并且，

其中，所述成像板的线膨胀系数和所述中间部件的线膨胀系数之间的算术差小于所述保持板的线膨胀系数和所述中间部件的线膨胀系数之间的算术差。

2.根据权利要求1的成像装置，其中，所述成像板的线膨胀系数和所述中间部件的线膨胀系数之间的算术差小于所述成像板的线膨胀系数和所述保持板的线膨胀系数之间的算术差。

3.根据权利要求1的成像装置，其中，所述中间部件的厚度为所述保持面和所述周边区域之间的距离的一半或更大。

4.根据权利要求1的成像装置，其中，所述中间部件在被分成多个分割的部件的状态下被设置在所述周边区域和所述保持面之间。

5.根据权利要求1的成像装置，还包括：

被设置在所述中间部件和所述保持面之间的缓冲部件，

其中，所述缓冲部件的杨氏模量为100MPa或更小，并且所述缓冲部件的厚度为0.1mm或更大。

6.根据权利要求1的成像装置，还包括：

与所述成像板电连接的电路部件，

其中，所述电路部件被固定于所述中间部件。

7.根据权利要求6的成像装置，其中，中间部件在被分成多个中间部件的状态下设置在所述周边区域和所述保持面之间。

8.根据权利要求6的成像装置，其中，所述电路部件被设置在所述中间部件和所述周边区域之间。

9.根据权利要求6的成像装置，其中，所述成像板和所述电路部件通过接合导线被电连接。

10.根据权利要求1的成像装置，其中，所述成像板和所述中间部件的主要材料是硅。

11.根据权利要求10的成像装置，其中，所述中间部件的厚度大于等于0.5mm且小于等于2.0mm。

12.根据权利要求1的成像装置，其中，所述保持板的主要材料是非磁性金属。

13.根据权利要求1的成像装置，其中，所述前面形成凹面。

14.根据权利要求1的成像装置，其中，所述前面的面积为300mm²或更大。

15.根据权利要求1的成像装置，其中，所述前面的面积为10000mm²或更大。

16.一种成像系统，包括：

根据权利要求1～15中的任一项的成像装置；和

信号处理装置，对其输入来自所述成像装置的输出信号，并且所述信号处理装置处理所述输出信号并且输出图像信号。

17.一种成像装置，包括：

成像板，具有光进入到其中的前面、和具有包含中心的中间区域和包围中间区域的周边区域的后面；

保持板，具有被配置为从所述后面侧保持所述成像板的保持面；和

中间部件，通过被固定于所述成像板和所述保持板而被设置在所述周边区域和所述保持面之间，

其中，所述前面的面积为300mm²或更大，

所述中间部件不在所述中间区域的至少一部分和从所述保持面延伸的平面上的面向所述中间区域的面向区域的至少一部分之间延伸，并且在其间形成空隙，并且，

其中，所述成像板和所述中间部件的主要材料是硅，并且所述保持板的主要材料是非磁性金属。

18.根据权利要求17的成像装置，其中，所述中间部件的厚度大于等于0.5mm且小于等于2.0mm，并且所述前面的面积为10000mm²或更大。