[发明专利]适用于超长超薄石英板的研磨抛光机及研磨抛光方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种石英板的研磨抛光机，特别是一种适用于超长超薄石英板的研磨抛光机，本发明还涉及一种超长超薄石英板的研磨抛光方法。

背景技术

目前国内石英玻璃研磨抛光技术，无论是古典抛光法，还是准球心抛光法均是镜盘和磨盘相对逆向转动且镜盘以一定的运动轨迹在磨盘上摆动。这种研磨抛光机械运动原理自始延续到今，各种型号规格的平面研磨抛光设备也按此原理制造。如今增大两盘尺寸，提高主轴转速，抛光液连续循环供给，改善抛光模材料是发展的趋势。

虽然为满足光电和IT产业对双面研磨石英玻璃片等加工的需求而制造了磨盘和镜盘尺寸为1380mm的双面研磨机，但也只能加工直径420mm（或对角线长）的工件。就是按古典抛光法的单轴平面研磨机进行研磨抛光，当摆幅取40%时，例如要抛光长1000mm宽200mm厚3mm的石英玻璃板，则单轴机的磨盘也达到了1.5m，显然按现有研磨抛光机原理制造长石英玻璃板研磨抛光设备，将使设备越来越大、越来越笨重。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构设置更为合理的适用于超长超薄石英板的研磨抛光机，它可以对长而薄的石英玻璃研磨抛光。

本发明所要解决的另一技术问题是提供了一种采用上述适用于超长超薄石英板的研磨抛光机进行研磨抛光的方法。

本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本发明是一种超长超薄石英板的研磨抛光机，它包括磨盘，其特点是，在磨盘的上方设有套模，套模上设有工件放置槽，工件放置槽底部设有垫片，套模通过连杆固定连接在平动轴上，所述的平动轴通过滑块连接在前后运动导轨上，平动轴、前后运动导轨分别通过传动机构与电动机连接。

本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。本发明还公开了一种超长超薄石英板的研磨抛光方法，其特点是，它使用以上技术方案所述的研磨抛光机；抛光前，将被研磨工件安装在套模上所设的工件放置槽内，且被研磨工件下表面伸出套模的工件放置槽0.5-0.8mm，工件放置槽槽宽比被研磨工件宽0.2-0.5mm；加工时，磨盘旋转，平动轴或者前后运动导轨在电动机的带动作前、后、左或右移动，从而带动套模与被研磨工件作前、后、左或右移动。

本发明中，为缩小磨盘尺寸而缩小研磨机体积，采用了限制或被加工件旋转自由度的方式。被研磨工件随着套模沿平动轴左右平动，并随着平动轴在前后运动导轨上前后平动。研磨靠磨盘的逆时针旋转和被研磨工件前后左右平动进行研磨。这样可使工件在磨盘整个工作面上受到研磨，可保持被研磨工件和磨盘面形平整。同时，也可设计限制摆幅架转动自由度，并可使其沿一定曲线平动的机构，达到研磨目的。本发明采用套模装夹加工件是防止现有研磨方法中粘接不便而采用浮动装夹的方法。

采用本发明设备与方法，可以实现对长1700mm以上、宽200mm、厚3mm左右的双面抛光石英玻璃板进行研磨、抛光，研磨、抛光时，在直径800mm的磨盘上摆动曲线轨迹短径不小于400mm，这样既能解决了长而薄石英玻璃板加工工艺，又避免了大设备、大场地、大投入。本发明克服了用手操作因长而薄易碎和不能粘接问题，缩小了磨盘尺寸从而解决了研磨机体积过大问题。

与现有技术相比，本发明适用于超长超薄石英板的研磨抛光机结构更为合理，使用方便，适用性强，使用效率高，能有效地保证产品质量及成品率。本发明研磨抛光方法操作简单，有效保证了成品率和生产效率。

附图说明

图1为本发明研磨抛光机的一种结构示意图；

图2为套模的剖视结构示意图。

具体实施方式

以下参照附图，进一步描述本发明的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。

实施例1，参照图1，2，一种适用于超长超薄石英板的研磨抛光机，它包括磨盘4，在磨盘4的上方设有套模1，套模1上设有工件放置槽，工件放置槽底部设有垫片2，套模1通过连杆5固定连接在平动轴6上，所述的平动轴6通过滑块8连接在前后运动导轨7上，平动轴6、前后运动导轨7分别通过传动机构与电动机连接。

实施例2，一种超长超薄石英板的研磨抛光方法，它使用实施例1所述的研磨抛光机；抛光前，将被研磨工件3安装在套模1上所设的工件放置槽内，且被研磨工件3下表面伸出套模1的工件放置槽0.5mm，工件放置槽槽宽比被研磨工件3宽0.2mm；加工时，磨盘4旋转，平动轴6或者前后运动导轨7在电动机的带动作前、后、左或右移动，从而带动套模1与被研磨工件3作前、后、左或右移动。

实施例3，一种超长超薄石英板的研磨抛光方法，它使用实施例1所述的研磨抛光机；抛光前，将被研磨工件3安装在套模1上所设的工件放置槽内，且被研磨工件3下表面伸出套模1的工件放置槽0.8mm，工件放置槽槽宽比被研磨工件3宽0.5mm；加工时，磨盘4旋转，平动轴6或者前后运动导轨7在电动机的带动作前、后、左或右移动，从而带动套模1与被研磨工件3作前、后、左或右移动。