[发明专利]一种万向气体支撑机构有效
| 申请号： | 201210015583.6 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103214187A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;宁军;高永强 | 申请（专利权）人： | 昆山思拓机器有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 万向 气体 支撑 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种万向气体支撑机构，其特征在于，包括:
基板，内部加工有通气管道；
万向气体支撑柱阵列，排布在基板上，所述万向气体支撑柱包括球体、支撑柱体。
2.根据权利要求1所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述万向气体支撑柱阵列规则排布于所述基板上。
3.根据权利要求2所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述万向气体支撑柱阵列可以以相同规则排布于所述基板上。
4.根据权利要求2所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述万向气体支撑柱阵列可以以错位排列规则排布于所述基板上。
5.根据权利要求1所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述支撑柱体，上部设有与外部连通的球冠腔室且内部设有贯通通孔，同时下部与基板通气管道联接，所述球体置于所述球冠腔室内。
6.根据权利要求5所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述气体支撑柱体下部与所述基板通气管道以螺纹方式联接。
7.根据权利要求1所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述通孔贯通所述柱体，连通所述部件腔室和所述球冠腔室。
8.根据权利要求1所述的新型万向气体支撑机构，其特征在于，所述新型万向气体支撑机构还包括气压调节装置，所述气压调节装置与基板通气管道相联。
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