[发明专利]一种纳米结构的氧化亚铜基PIN结太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 201210007730.5 | 申请日: | 2012-01-01 |
公开(公告)号: | CN102569480A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 朱丽萍;杨美佳 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L31/075 | 分类号: | H01L31/075;H01L31/0296;H01L31/0352;H01L31/18;C30B30/02;C30B29/16;C30B29/62;C30B23/02 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 刘晓春 |
地址: | 310027*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 结构 氧化亚铜 pin 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及一种纳米线阵列结构的氧化亚铜基PIN结构的太阳能电池及其制备方法。
背景技术
目前能源和环境问题仍为亟待解决的全球性问题,太阳能电池技术是开发清洁能源的一个重要领域。理想的太阳能电池材料应综合具备高转换效率、低成本、无污染、无毒性等特点,因此CuO、Cu2O、ZnO、TiO2等无机氧化物半导体具有重要的研究价值。Cu2O本征为P型,禁带宽度2.17ev,在可见光区域有较高的吸收系数,入射光转换效率(IPCE)高达85%,Cu2O与ZnO、TiO2、TCO等宽禁带半导体做成异质结,形成TypeII型能带结构,可实现光生载流子的产生和分离,从而得到较高的能量转换效率,理论能量转换效率(PCE)约为18%。
目前关于Cu2O基太阳能电池的研究中,大部分是双层膜结构或者Cu2O薄膜与另一种材料的纳米柱薄膜的结合,意大利的MittigaA等(Appl.Phys.Lett.2006,16,3502)报道了采用热氧化法制备Cu2O薄膜,再用离子束溅射法沉积一层TCO薄膜,得到能量转换效率为2%的太阳能电池;日本的Masanobu Izaki等(J.Phys.D:Appl.Phys.2007,40,3326-3329)与美国的Jingbiao Cui等(J.Phys.Chem.C 2010,114,6408-6412)分别报道了电化学沉积法制备的Cu2O/ZnO双层膜结构和Cu2O/ZnO纳米柱结构的太阳能电池,能量转换效率分别为1.28%和0.88%。在上述方法中,太阳能电池转换效率与理论值相差很多,一方面是因为Cu2O光吸收层中与界面的距离大于扩散长度的部分产生的光生载流子在到达界面之前就会被复合;另一方面,由于两种材料的界面处存在大量界面态,势垒区的宽度很小,产生的光生载流子不能被内建电场充分分离,大部分产生复合,降低了太阳能电池的感光灵敏度,两方面原因使得光生载流子不能有效的分离和收集,使得光电转换效率很低。
发明内容
本发明的目的在于克服现有的技术不足,提供一种新型纳米结构的氧化亚铜基PIN结太阳能电池,采用了P型氧化亚铜纳米线阵列结构,该结构可以增大结面积,同时大大减小载流子的输运距离;在P型氧化亚铜纳米线阵列和N型层之间加入绝缘层,组成PIN结,PIN结可以增大势垒区宽度。两方面的作用可提高光生载流子的分离和收集,从而有效提高太阳能电池的光电转换效率。
本发明采用的技术方案如下:
一种纳米结构的氧化亚铜基PIN结太阳能电池,其特征在于,包括如下结构:
衬底(1);
生长在衬底(1)上的P型氧化亚铜纳米线阵列(2);
沉积在P型氧化亚铜纳米线阵列(2)表面的绝缘层(3);
填充于绝缘层(3)外的N型层(4);
生长于N型层(4)上的N型欧姆电极(5);
生长在P型氧化亚铜纳米线阵列(2)上的P型欧姆电极(6)。
其中,所述的衬底为沉积有180nm~220nm厚的透明导电薄膜ITO或FTO的玻璃衬底;
所述的P型氧化亚铜纳米线阵列中的纳米线直径为50nm~200nm,长度为0.5μm~1.5μm;
所述的绝缘层为电阻率大于104Ω·cm的高阻氧化物半导体,其载流子浓度小于1015cm-3;
所述N型层的材料为掺杂的氧化锌,其载流子浓度大于1019cm-3;
所述的N型欧姆电极和P型欧姆电极为点状或方形结构。
本发明还提供了该纳米结构的氧化亚铜基PIN结太阳能电池的制备方法,利用电化学沉积法制备P型氧化亚铜纳米线阵列,结合磁控溅射法制成PIN结太阳能电池。
本发明制备该纳米结构的氧化亚铜基PIN结太阳能电池的方法包括如下步骤:
1)清洗衬底;
2)在衬底上生长P型氧化亚铜纳米线阵列;
3)在上述P型氧化亚铜纳米线阵列表面生长绝缘层,并在P型氧化亚铜纳米线阵列表面预留生长电极的面积;
4)在绝缘层外填充掺杂的N型材料并形成薄膜,制作N型层;
5)在N型层上制作N型欧姆电极;
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的