[发明专利]一种原位双倾电镜样品杆的制备方法有效

专利信息
申请号: 201210005130.5 申请日: 2012-01-10
公开(公告)号: CN102543637A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 王乙潜;谭金山;梁文双;杜庆田 申请(专利权)人: 青岛大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 青岛高晓专利事务所 37104 代理人: 张世功
地址: 266061 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 原位 双倾电镜 样品 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种原位双倾电镜样品杆的制备方法,其特征在于工艺步骤包括:

(1)原位双倾样品杆设计:在现有单倾电镜样品杆的基础上,在样品杆的中空铜杆中绝缘封闭式开辟三个独立的通道,三个独立通道分别分配给水平传动杆、导线和光纤并进行绝缘密封;利用安装在样品杆外部与水平传动杆相连的步进马达实现样品杆沿Y轴倾转;

(2)电场组件安装:将电场接线柱安装在样品杯上并使其距离光轴10cm以上,以避免电荷聚集影响成像质量;

(3)光纤接入:在样品杯上安装光纤固定柱,将透镜光纤表面喷金后接入,将激光导入样品中,构成原位透射电镜双倾样品杆。

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