[发明专利]光敏树脂组合物和介电绝缘膜以及使用该介电绝缘膜的电子器件有效
| 申请号： | 201180064791.9 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103298841A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 成仁庆;李武暎;韩淅;金承根;郑周永;安相王;张来先;金俊基;金兰秀 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | C08F2/46 | 分类号： | C08F2/46;C08G2/02;C08L33/10;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 绝缘 以及 使用 电子器件 | ||
【说明书】：
技术领域
本发明涉及形成介电绝缘膜的光敏树脂组合物，使用该组合物的介电绝缘膜，以及包括该膜的设备。更具体而言，本发明涉及形成介电绝缘膜的光敏树脂组合物，该介电绝缘膜是在液晶显示器(LCD)的薄膜晶体管(TFT)的初始加工过程中使用的。
技术背景
液晶显示器中使用的TFT基材包括中间层介电绝缘膜和接触孔，所述中间层介电绝缘膜设置在TFT二极管和形成像素电极的透明导电膜之间以保护TFT阵列二极管，TFT阵列的漏电极和使用透明导电膜形成的导线通过所述接触孔在介电绝缘膜上连接。
使用可热固化的光敏组合物作为中间层介电绝缘膜的材料，例如已知包含碱溶性树脂和1,2-醌二叠氮化物(1,2-quinonediazide)化合物的组合物作为正型光敏组合物，并且还已知可光致聚合的光敏组合物作为负型可热固化的组合物。
但是，已知的这种包含碱溶性树脂和1,2-醌二叠氮化物化合物的正型光敏组合物在曝光和显影后的硬烘过程中会热分解而产生颜色。因此，当可见光区域内透光率减小时，或者当有机介电绝缘膜在大于或等于预定温度下持续大于或等于预定时间受热或吸收短波长光(例如紫外线)时，该有机介电绝缘膜的预定组分会分解而产生颜色或生成杂质，从而形成液晶显示器中的余像(afterimage)。
另外，负型可光致聚合的光敏组合物不会因为预定组分的分解而产生颜色或形成杂质，但是它对碱性显影液(KOH、NaOH和TMAH水溶液)可能会分辨率降低，并且在光致聚合过程中由于分子量增加而使其与基材的粘附性降低。
此外，将光聚合引发剂添加至具有烯键式不饱和键的可聚合的化合物中以制备光敏组合物。美国专利第3558309号提出一种肟酯衍生物，美国专利第4255513和4590145号描述了一种光敏组合物中用作光聚合引发剂的肟酯化合物。但是，当使用该已知的肟酯化合物作为光聚合引发剂时，曝光过程中光分解的材料附连在掩模上，从而在印刷过程中形成不希望的图案，并造成产率降低。另外，由于肟酯化合物的分解温度低于或等于240°C，在形状处理后通常在130-240°C下进行的热固化处理中光聚合引发剂可能分解而造成树脂的物理性质降低，热固化处理需要在降低的固化温度下进行。当热固化处理在高温下进行时，可减少处理时间，但树脂的物理性质会降低，因此，需要具有高耐热性的光聚合引发剂。
近来，需要一种同时使用单个光子形成透光膜和半透光膜的技术以统一处理。该技术包括一种使用在单个掩模基材上具有多个透光率不同的透光区域的半色调掩模的方法。该方法包括使用单一光刻工艺在光掩模上形成具有不同透光率的透光区域以控制辐射在基材(在该基材上形成薄膜图案)上的光密度，以在构成基材的每个单元上形成具有不同厚度的薄膜图案。在该方法中，使用单一光刻工艺在不同光强度下曝光目标光敏材料，以形成具有多级结构的薄膜图案。
但是，当在低透光率区域形成膜时由于很难保证厚度的均匀性，因而该方法是不利的。因此，需要开发一种有效形成具有多个均匀厚度的光敏树脂组合物层并形成均匀图案的技术。
此外，要求诸如透光率、分辨率和对比度的特性不断提高以使具有预定水平或更高水平分辨率的材料和各种工艺余量能够在实践中应用。
发明内容
技术问题
本发明的目的在于提供一种可以满意以下所有要求的光敏树脂组合物，所述要求包括例如：与相关技术相比，优异的透光率和对比度；优异的光敏特性，例如分辨率和剩余率(remaining rate)；在低曝光剂量下与基材的粘附性极佳；优异的耐紫外线性；当形成具有多个厚度的组合物层时避免产生厚度偏差；以及优异的蚀刻工艺和曝光工艺余量。
本发明的另一个目的在于提供一种负型光敏树脂组合物，该组合物具有增加的透光率、对比度和耐化学性，同时单独使用或组合使用新颖的光聚合引发剂能保持热固化膜的预定厚度；本发明的目的还在于提供一种使用所述膜制备的介电绝缘膜以及使用包含该介电绝缘膜的液晶显示器。
解决问题的方案
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。本发明的一种水溶性双光子聚合引发剂能在水相中引发双光子聚合加工三维水凝胶，所用的激光加工能量比现有技术加工能量（20-60mW）低，并且克服了现有技术存在的有机溶剂的残留的不足。
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- 2009-03-31 - 2009-09-09 - C08F2/46
- 本发明涉及9-苯基吖啶类光引发剂及其制备方法，其中9-苯基吖啶(化合物1)及某些9-(取代苯基)吖啶类化合物，如9-(4-甲基苯基)吖啶(化合物2)、9-(3-甲基苯基)吖啶(化合物3)、9-(2-甲基苯基)吖啶(化合物4)、9-(2-氯苯基)吖啶(化合物5)，可作为光引发剂广泛用于不饱和树脂及其单体组成的光固化材料，所述的制备方法采用以二苯胺为起始原料出发，在氯化锌和85％磷酸组成的复合催化剂的催化作用下，直接与苯甲酸或取代苯甲酸反应，生成9-苯基吖啶(化合物1)及某些9-(取代苯基)吖啶类化合物2～5，使得化合物1～5的收率最高可达70％以上，产品纯度均大于98％，该工艺可满足工业化生产的要求。
- 光引发剂用叔胺增感剂及其制备方法-200910030156.3
- 钱晓春;王兵;吴锁妹;吉欢欢 - 常州强力电子新材料有限公司
- 2009-03-20 - 2009-09-02 - C08F2/46
- 本发明涉及光引发剂用增感剂，尤其涉及一种光引发剂用的叔胺增感剂，一种光引发剂用叔胺增感剂，其结构式为式（I），R的结构式为式（II），能解决现有的叔胺类增感剂应用性能差的问题，本发明具有固化速率快、费用低、污染少等诸多优点，分子中的烃基易供氢，进而促进光引发反应，本发明中提供的制备方法简单，易于工业化生产，生产过程中污染小。
- 咔唑肟酯类光引发剂-200910030326.8
- 钱晓春;王兵;吴锁妹 - 常州强力电子新材料有限公司
- 2009-03-11 - 2009-08-19 - C08F2/46
- 本发明涉及光引发剂技术领域，尤其涉及一种肟酯类光引发剂及其制备方法，一种咔唑肟酯类光引发剂，其结构通式为右式， R＝为式(1)，n＝0～5，m＝3or4，R基为带有环烷烃的脂肪酮，环烷烃为环丙烷到环辛烷的脂肪环，连接环烷烃和酮基的是支链脂肪烃，链长一般为0～6个碳原子。具有该类结构的咔唑肟酯类化合物，是全新化合物，具有很好的光引发性能，解决现有的咔唑肟酯类光引发剂感光度、热稳定性河溶解性相对差的问题。
- 适用于光学制品的可固化组合物-200780005342.0
- 卢盈裕;夏剑辉;彼得·M·奥洛夫松;程铭;马克·F·埃利斯;巴布·N·加德丹;凯文·M·莱万多夫斯基;约瑟夫·D·鲁莱 - 3M创新有限公司
- 2007-01-29 - 2009-07-29 - C08F2/46
- 本发明提供可固化组合物，所述可固化组合物包含具有多个悬垂的和/或末端的烯键式不饱和、可自由基聚合的官能团的低聚物、可自由基聚合的交联剂和/或稀释剂单体以及光引发剂。所述组合物在固化时不泛黄，显示出低收缩率和低双折射率，使之适合于多种光学应用，例如光学透镜、光纤、棱镜、光导、光学粘合剂和光学薄膜。
- 专利分类
