[发明专利]单晶炉的取棒装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种单晶炉的取棒装置，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。目前单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时，单晶硅会被拉拔成晶棒，需要将其从单晶炉中取出。目前将单晶硅晶棒取出的方法是由操作人员带上手套，用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式存在一定危险性，单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小，且晶棒在下降过程中存在一定的晃动，因此晶棒很容易出现断裂，存在极大的安全隐患。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种完全可靠，能保证不出现断裂的单晶炉的取棒装置。

本发明的目的是这样实现的：

本发明单晶炉的取棒装置，包括机架和升降杆，所述机架上固定有上下两块夹持板，所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔，所述升降杆底部连有油缸，升降杆的上部固定有钳子，所述升降杆的下部设有两个挡块，所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽，所述两个挡块的一端套在环形凹槽上，使挡块与升降杆活动连接。

这种单晶炉的取棒装置具有以下优点：

这种单晶炉的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后，用钳子夹住单晶硅晶棒的上部，并将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部，随后松开两块夹持板，并用油缸推动升降杆上升，从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂，从而保证了操作的安全。

附图说明

图1为本发明单晶炉的取棒装置的结构示意图。

图2为图1中升降杆的结构示意图。

图中：机架1、夹持板2、升降杆3、环形凹槽3.1、油缸4、钳子5、挡块6。

具体实施方式

参见图1和图2，本发明涉及的一种单晶炉的取棒装置，包括机架1和升降杆3，所述机架1上固定有上下两块夹持板2，所述升降杆3穿过两块夹持板2上的通孔，所述升降杆3底部连有油缸4，升降杆3的上部固定有钳子5，所述升降杆3的下部设有两个挡块6，所述升降杆3与两个挡块6的连接处各开有一个环形凹槽3.1，所述两个挡块6的一端套在环形凹槽3.1上，使得挡块6与升降杆3活动连接，挡块6能在升降杆3上360°范围内转动。

当需要夹起单晶硅晶棒时，将机架1放置于单晶炉旁的地面上，用钳子5夹住单晶硅晶棒的上部，随后将两个挡块6一左一右转动，夹持住单晶硅晶棒的下部，使其不会晃动，随后松开两块夹持板2，并用油缸4推动升降杆3上升，从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出，并且可以保证操作人员的完全，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉，从而保证了单晶硅晶棒的质量。