[发明专利]非偏振可调谐导膜共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法有效
| 申请号： | 201110341142.0 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102364360A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 吴永刚;伍和云;吕刚;王振华;夏子奂;刘仁臣 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01B11/14 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 陈树德;李颖薇 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏振 调谐 共振 滤光 系统 及其 测量 纳米 间隙 方法 | ||
1.一种非偏振可调谐导模共振滤光片系统，由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其特征在于：所述的导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层，该空气间隙层为不大于100nm的纳米间隙，其中，所述的波导层均为高折射率介质材料，光栅层均由低折射率材料与空气构成。
2.根据权利要求1所述的非偏振可调谐导模共振滤光片系统，其特征在于：所述的衬底层为光学玻璃，波导层为二氧化钛、硫化锌、二氧化锆中的一种高折射率光学介质材料，折射率范围是2.2~2.45，光栅层为由二氧化硅、氟化镁、氟化钙中的一种低折射光学介质材料和空气构成，低折射率光学介质材料的折射率范围是1.35~1.46。
3.根据权利要求1所述的非偏振可调谐导模共振滤光片系统，其特征在于：所述波导层的厚度范围是119~200nm，所述光栅层的厚度范围是26.4~80nm，光栅周期范围是330~1000nm。
4.一种利用权利要求1至4之一所述的非偏振可调谐导模共振滤光片系统测量纳米间隙的方法，其特征在于：以TE偏振入射光或TM偏振入射光或非偏振光沿着垂直于导模共振滤光片系统的方向入射，通过测量入射光经过系统后TE0模式的两个分裂反射峰或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，测得导模共振滤光片系统中空气间隙层的大小，其中，所述的空气间隙层为不大于100nm的纳米间隙。
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